판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy IRAD #293585847
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ID: 293585847
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2008
Vertical LPCVD Furnace, 12"
Wafer production equipment
Process: MLD Nitride
CIM: SECS-GEM
KHI Handler system
(2) FOUP Factory interfaces
Operation system:
Gas detector box
Rapid Colling System (RCS)
Power box
208 VAC UPS
2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy IRAD는 대량의 고급 석판 패턴을 위해 설계된 정교한 에처/애셔입니다. 정밀 패턴화 (precision patterning) 와 탁월한 에칭 성능은 오늘날의 반도체 제조 공정에서 발견되는 모든 종류의 회로에 대해 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공합니다. TEL 인디 IRAD (TEL Indy IRAD) 는 강력한 가스 배달 장비를 갖추고 있으며, 에찬트를 효율적이고 정확하게 전달하여 고효율 사용을 가능하게 합니다. 이것은 신뢰할 수 있고 반복 가능한 석판 패턴을 보장하며 프로세스 균일성을 증가시킵니다. 이 시스템은 다양한 기판 재료를 수용하도록 구성될 수 있으며, 다양한 재료를 한꺼번에 불러올 수 있는 유연성 (Flexibility) 을 제공합니다. 이 포괄적 인 에칭 솔루션 은 "실리콘 '과" 게르마늄' 을 포함 한 재료 와 많은 유전체 및 금속 층 을 가공 할 수 있다. TOKYO ELECTRON Indy IRAD에는 방향성 일치 네트워크로 완성 된 RF 드라이브 필드를 기반으로하는 우수한 이온 에치 (ion-etch) 장치도 있습니다. 네트워크는 에치 종 (etch species) 균일 성 (uniformity) 과 수동화 제어 (passivation control) 에 대한 제어를 개선하는 한편, 잘못된 위치에서 물질이 탈취 될 위험을 줄입니다. 최적의 성능과 안정성을 보장하기 위해 Indy IRAD에는 고급 진단 및 모니터링 기능도 제공됩니다. 이러한 도구를 사용하면 프로세스 조건을 지속적으로 모니터링하고, 매개변수를 정확하게 조정하여 에칭 결과를 최적화할 수 있습니다. 또한, TEL/TOKYO ELECTRON Indy IRAD의 자동 작동으로 인해 기계의 작동 및 유지 보수가 쉬워져 사용자가 유지 보수 비용을 절감했습니다. 이렇게 하면 클리닝 (cleaning), 예방 유지 보수 (preventive maintenance) 와 같은 작업의 시간이 절약되고 일괄 작업 프로세스가 완전히 자동화됩니다. 결과적으로 TEL Indy IRAD는 고정밀 에칭 솔루션을 찾는 회사에 이상적인 선택입니다.
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