판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293643279

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L은 일본의 반도체 생산 장비 제조업체 인 TEL이 개발 한 에처/애셔입니다. 그것은 다양한 응용을위한 자기 (magnetic) 및 화합물 (compound) 반도체 재료의 에칭 및 증착에 널리 사용된다. 텔 인디 -I-L (TEL Indy-I-L) 은 최대 300mm 대형 웨이퍼의 균일 한 에칭 및 증착을위한 다양한 기능을 갖추고 있습니다. TOKYO ELECTRON Indy-I-L은 혁신적인 기술을 활용하여 효율적이고 안정적이며 균일 한 처리를 용이하게 합니다. 가변 온도 RF (Radio Frequency) 전원 및 레이저 간섭 제어 (Laser Interference Control) 를 포함한 고급 기술이 장착되어 있어, 균일 한 에칭 및 증착, 광학 및 지형 피드백 제어를 통해 반복 가능하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 스마트 컨트롤러 기능을 통해 에칭 및 증착 프로세스에 대한 사용자 정의 및 자동 제어가 가능합니다. Indy-I-L의 대형 챔버 용량은 1,200L이며, 넓은 에칭/증착 범위를 제공하도록 설계되었습니다. 50mA/m 2 RF 전원으로 최대 900 ° C의 온도와 최대 2.5kV DC (Direct Current) 바이어스 전압을 처리 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L은 희토류 및 무거운 이온 인토실리케이트, 실리콘, 티타늄, 알루미늄 및 기타 금속, 갈륨 비소, 인듐-포스파이드 및 알루미늄 질화. TEL Indy-I-L은 또한 업계를 선도하는 45ou/min 에칭 율과 최대 20nm/min의 쉽게 조절 가능한 증착율을 가지고 있습니다. 또한, 최대 40 개의 웨이퍼를 여러 번 처리하여 높은 생산성을 발휘할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Indy-I-L (TOKYO ELECTRON Indy-I-L) 은 특수 반도체 응용 프로그램부터 일상적인 가전 제품 생산에 이르기까지 다양한 에칭 및 증착 응용 분야에 사용할 수 있습니다. Indy-I-L은 사용자 친화적이며 효율적인 운영을 위해 설계되었습니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 간단한 etch/deposition 제어 (etch/deposition control) 기능을 통해 쉽게 설정하고 프로세스를 정확하게 제어할 수 있으며, 자동 정지 기능을 통해 비용을 절감하고 etching/deposition 프로세스의 신뢰성을 향상시킬 수 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L은 강력하고 다재다능한 etcher/asher로, 다양한 응용을위한 광범위한 재료의 효율적이고 안정적이며 균일 한 에칭/증착을 제공하도록 설계되었습니다. 모든 반도체 제작 시설에 완벽한 추가입니다.