판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-HV #9190560

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-HV는 반 등방성 에칭, 이방성 에칭, 초단계 종횡비 눈물 에칭 및 구리 (Cu) 필러 에칭 등의 프로세스에서 가장 엄격한 요구 사항을 위해 설계된 고성능, 고 생산성 에칭 장비입니다. 표준 에칭 작업에서 고급 프로세스에 이르기까지 처리량 및 확장 프로세스 모듈을 개선 할 수있는 다양한 기능을 갖춘 단일 웨이퍼 병렬 플라즈마 에처 (또는 "애셔 (asher)") 입니다. TEL Formula-HV는 혁신적이고 효율적인 프로세스 기술을 활용하여 고품질, 안정성, 반복 가능한 에치 프로파일을 제공합니다. 이 시스템의 고급 제어 기능 (Advanced Control features) 은 매우 크고 매우 깊은 에치 (etch) 프로세스의 요구 사항을 충족하기 위해 복잡하고 정밀도가 높은 에칭을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Formula-HV로 달성 된 에칭의 균일 성은 업계 최고입니다. Formula-HV에는 여러 RF 소스가 장착되어 있어, 에칭 프로세스를 특정 애플리케이션에 맞게 조정할 수 있습니다. 이는 기존 에치 시스템보다 훨씬 다양한 에치 (etch) 가능성을 제공하는 어느 정도의 유연성을 제공합니다. 또한 다양한 조정 매개 변수 (Adjustment Parameter) 를 제공하여 사용자는 최상의 결과를 위해 플라즈마, 이온, 전극 전원을 조정할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Formula-HV의 정교한 자동화는 중요한 애플리케이션에 대한 인간 운영자의 개입을 제거합니다. 이를 통해 심도 및 기능 프로파일에 대한 접촉, 반복 가능, 정확한 프로세스 제어가 가능합니다. 이 기계는 또한 향상된 진단 및 유지 관리 도구 (Enhanced diagnostics and maintenance tool) 를 갖추고 있어 자산 문제를 빠르고 쉽게 해결할 수 있습니다. 또한 TEL Formula-HV 에는 데이터 획득 및 분석, 레시피 개발, 프로세스 최적화 등 포괄적인 소프트웨어 툴이 함께 제공됩니다. 밝은 필드 마스크 (얕은 에치에 사용) 및 어두운 필드 마스크 (더 깊은 에치에 사용) 를 포함한 여러 에치 마스크와 호환됩니다. 애셔 (asher) 는 또한 여러 방패를 제공하므로 사용자가 특정 응용 프로그램에 맞게 모델을 사용자 정의할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Formula-HV (TOKYO ELECTRON Formula-HV) 는 가장 까다로운 어플리케이션에 정확하고 안정적인 에칭을 제공하는 고급, 고성능, 안정적인 에처입니다. 고급 컨트롤, 다양한 조정 매개변수 (Adjustment Parameter) 및 유연성 (Flexibility) 을 통해 다양한 에칭 가능성을 누릴 수 있습니다. 정교한 자동화, 종합적인 소프트웨어 제품군을 통해 사용자는 프로세스를 빠르고 쉽게 개발, 최적화할 수 있습니다.