판매용 중고 TEGAL 903E #9374755

이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.

제조사
TEGAL
모델
903E
ID: 9374755
웨이퍼 크기: 5"
Etchers, 5".
TEGAL 903E는 반도체 처리에 사용하도록 특별히 설계된 에처/애셔입니다. 전자빔 건을 사용하여 반도체 웨이퍼 표면에 저항층과 금속화 층을 증발시키는 열 증발기 (또는 증발 장비) 입니다. TEGAL 903 E는 직경이 최대 8 인치 인 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 최대 처리량은 시간당 60 개입니다. 자동 초점 기능, 과잉 (over-current) 보호 및 조정 가능한 도가니 온도가 장착되어 있어 최적화되고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 903E 는 복잡한 반도체 디바이스의 보다 통합적이고 효율적인 처리에 대한 수요 증가를 충족하기 위해 비용 효율적이고 신뢰할 수 있는 솔루션으로 포지셔닝되고 있습니다 (영문). 고정밀도 모션 시스템 (High-Precision Motion System), 밀접하게 결합된 컨트롤 유닛 (Control Unit), 엄격한 프로세스 제어를 위한 뛰어난 용량 등 반도체 산업에 매력적 인 기능을 제공합니다. 이 기계는 또한 다른 중요한 프로세스 매개변수 및 구성 요소 (예: 온도, 압력) 를 직접 제어함으로써 기존 웨이퍼 처리 시스템과의 손쉬운 통합을 위해 설계되었습니다. 이 도구 는 "알루미늄 '과" 티타늄' 과 1 내지 1000 "나노미터 '의 두께 를 가진 다른 합금 과 금속 들 을 신속 하고 정확 하게 증발 시킬 수 있도록 설계 되었다. 903 E에 사용 된 밀리 줄 전자 빔 건은 정확하고 효율적인 증착을 가능하게합니다. 또한, 에셋에는 기판 이동을위한 2 개의 전용 기판 조작기 (Substrate Manipulator) 와 기판 위치의 뛰어난 제어가 있습니다. 또한 TEGAL 903E는 그래픽 사용자 인터페이스, 강력한 소프트웨어 패키지, 자동 보정 (auto-calibration) 및 자체 진단 모델 (self-diagnostic model) 과 같은 사용자에게 친숙한 다양한 기능을 제공합니다. 사용자에게 친숙한 인터페이스를 통해 운영자는 에칭 프로세스를 쉽게 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 또한, 이 장비에는 신속하고 최적화된 작동을 가능하게 하는 원격 모니터링 및 제어 기능이 있습니다. TEGAL 903 E는 공정 제어가 엄격한 반도체 기판의 고성능 처리가 필요한 고객에게 적합합니다. 배치 (batch) 및 연속 (continuous) 생산 프로세스에 적합하며 다양한 크기와 두께의 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 시스템의 고정밀 동작 장치 (high-precision motion unit) 와 밀접하게 결합된 제어기 (control machine) 는 최소한의 오염으로 뛰어난 정밀도 및 프로세스 제어를 보장합니다. 903E는 반도체 산업의 고급 프로세스에 대한 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 etcher/asher입니다.
아직 리뷰가 없습니다