판매용 중고 PLASMATHERM VLR 702-PM 770I-10R #9259208

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ID: 9259208
빈티지: 1999
Dry etcher EBARA AA10N Dry pump Pumping speed: 1300 l/min TAITEC UC-70P Chiller Gases: CF4, CHF3, CI2, BCI3, O2, N2 Diameter of lower electrode, 10" EDWARDS STP-H803C Turbo pump 2CN-H803C Turbo controller VLR 700 VAT Gate valve Operating system: Windows NT Workstation 4.0 Power box Cabinet Power supply: 200 V, 50/60 Hz, 3 Phase 1999 vintage.
PLASMATHERM VLR 702-PM 770I-10R은 대규모 산업 응용 프로그램에서 최적의 성능을 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. 10 인치 매니 폴드 트레이 (Manifold Tray) 와 7 개의 작업 챔버 장비를 갖추고 있으며 에칭 및 애싱 프로세스를 완전히 제어 할 수 있습니다. VLR 702-PM은 ± 0.5 äm의 인상적인 정확도를 자랑하여 매우 정확한 에칭 결과를 제공합니다. 또한, 작업 트레이의 균일 성은 ± 1.0 äm 정확도로 보장됩니다. VLR 702-PM에는 고급 프로그래밍 가능한 컨트롤러가 장착되어 있으며, 다양한 작업을 위해 9 개의 레시피가있는 최대 16 개의 메모리 스토어를 제공합니다. 또한, 이 컨트롤러를 사용하면 전원, 가스 흐름, 바이어스 및 기타 작업별 설정을 포함한 에칭/애싱 (etching/ashing) 매개변수를 쉽게 설정하고 조정할 수 있습니다. VLR 702-PM의 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 모든 설정과 결과를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이러한 기능 외에도, VLR 702-PM은 사용자와 기계를 해치지 않도록 설계된 정교한 안전 시스템 (Safety System) 을 갖추고 있습니다. 여기에는 덮개 잠금 메커니즘, 키리스 트리거 잠금 (Keyless Trigger Lock) 및 긴급 정지 (Emergency Stop) 버튼이 포함되며 모든 에칭/어싱 작업에서 최대한의 안전을 보장합니다. 소프트웨어와 하드웨어는 최대 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 품질과 성능을 제공하도록 최적화되어 있습니다. VLR 702-PM에는 고성능 모터와 정밀 단조 스테인리스 스틸 노즐 (Stainless Steel Nozzle) 세트가 장착되어 있어 작은 간격 영역 전체에 고도의 플라즈마 분포를 보장합니다. 컴퓨터 제어 고정밀도 피에조 변조기 (piezo modulator) 와 조절 가능한 가스 필터 (gas filter) 는 모두 유골 공정에 오염 물질이 도입되지 않도록 보장합니다. 최대 편의를 위해 VLR 702-PM에는 공정 전체에서 출시 된 에칭/애싱 가스를 수집하고 추출하는 내장 배기 장치 (Exhaust Unit) 가 있습니다. 따라서 유해 물질의 축적을 방지하고, 사용자 안전과 전반적인 장치 성능을 높일 수 있습니다. 전반적으로 VLR 702-PM 770I-10R은 산업 에칭 및 애싱 어플리케이션을위한 뛰어난 품질과 성능을 제공하는 고급 etcher/asher입니다. 이 기계는 탁월한 정확성, 뛰어난 안전, 뛰어난 사용자 편의성을 제공하여 에칭/애싱 (etching/ashing) 작업이 빠르고 정확하게 완료되도록 합니다.
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