판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9374752

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ID: 9374752
웨이퍼 크기: 5"
Oxide etcher, 5" Bulkhead system mount with tunnel covers HINE 38A Open cassette Send / Receive indexers LED Monitor ADVANCED ENERGY RF Generator Moving gap Back helium colling Belt driven load station Standard load station shuttle spatula Upper chamber gap drive encoder Aluminum upper chamber electrode Single lower chamber endpoint detector (405 / 520 nm) Low pressure chamber manifold HPS Valve for chamber isolation AC-2 Chamber pressure controller Lower chamber RGA port MILLIPORE CMHT-11S02 10 Torr Chamber manometer MILLIPORE CMLA-21 100 Torr backside helium manometer TYLAN GENERAL CMHT-11S02 10 Torr reference manometer (8) Orbital gas boxes (1300) UPC: He (50 SCCM) Trip breakers AC / DC power box Power supply: 208 V, 175 A, 60 Hz, 3 Phase, 5 Wires.
LAM RESEARCH Rainbow 4420은 반도체 처리에 사용하도록 특별히 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 고급 에칭 기술을 사용하여 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer), 산화물 레이어 (oxide layer) 및 다양한 유전체 (dielectric) 와 같은 광범위한 기판을 정확하게 에칭할 수 있습니다. Rainbow 4420은 여러 가지 구성 가능한 옵션이있는 모듈 식 구조를 갖추고 있습니다. 여기에는 고효율 습식 처리 실, 가스 샤워 헤드, 플라즈마 보조 에칭 유닛, 전원, 가스, 냉각제를위한 고급 분배기 (예: 단일 유닛에 통합) 가 포함되어 있습니다. 가공 챔버 (processing chamber) 는 정확한 온도 및 압력 환경을 유지하여 빠른 속도로 정확한 에칭을 허용하도록 설계되었습니다. 가스 샤워 헤드 (gas showerhead) 는 저온 플라즈마와 함께 고도로 집중된 버퍼 (buffer) 를 사용하여 에칭 가스의 온도를 유지하고 작동의 최대 효율성과 신뢰성을 보장합니다. 플라스마 보조 에치 프로세스는 에칭 프로세스를 정확하게 제어하여 고품질 결과를 제공합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4420 (LAM RESEARCH Rainbow 4420) 에는 다양한 기판을 정확하게 처리 할 수있는 고급 레이저 이미징 도구도 포함되어 있습니다. 이를 통해 저온, 고정밀도 에칭, 고전류 고해상도 프로세스에 이상적입니다. 마지막으로, 레인보우 4420 (Rainbow 4420) 에는 모든 사업자의 안전을 보장하는 일련의 안전 기능이 내장되어 있습니다. 여기에는 수소 센서, 비활성 가스 전달 자산, 비상 종료 모델 및 통합 진단 장비가 포함됩니다. 진단 시스템은 온도 (temperatics), 압력 (pressure) 및 기타 매개변수를 모니터링하고 이 값 중 하나가 미리 결정된 범위를 벗어난 경우 연산자에게 알립니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Rainbow 4420은 정확하고 고품질의 결과를 제공하도록 설계된 고급 에칭 및 애싱 장치입니다. 정밀 에칭 기능, 사용자 정의 가능한 처리 변수, 강력한 안전 기능의 조합으로 반도체 프로세싱에 이상적인 선택이 됩니다.
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