판매용 중고 LAM RESEARCH Exelan A6 #9093942

LAM RESEARCH Exelan A6은 에칭 및 애싱 프로세스를 위해 설계된 고급 에처/애셔 장비입니다. 강력한 모듈식 (Modular) 설계 아키텍처를 기반으로 구축되어 까다로운 운영 환경에서 고성능 (HPS) 및 효율적인 운영을 가능하게 합니다. 엑셀란 A6 (Exelan A6) 은 정확한 에칭 및 애싱 기술을 사용하여 가장 정확한 기판 구조를 만들 수 있습니다. 이 시스템은 저압 무선 주파수 플라즈마 챔버와 고속 컨베이어를 갖춘 대용량, 비용 효율적인 터보 PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition) 장치로 구성됩니다. 이 기계는 고속 가스 분포 (High Speed Gas Distribution) 를 특징으로하여 더 높고 정확하게 제어 된 프로세스 속도를 제공합니다. LAM RESEARCH Exelan A6의 플라즈마 챔버, RF 발전기 및 컨트롤러는 고효율 에칭 및 애싱 프로세스를 달성하도록 설계되었습니다. "대형기판 '과" 긴 공정 시간' 을 수용하기에 충분한 규모다. 대규모 생산에 이상적인 공구다. Exelan A6은 가스 흐름, 압력, 온도, RF 전력 및 기타 프로세스 매개 변수를 정확하게 제어 할 수있는 고급 자동화를 지원합니다. 이 소프트웨어를 통해 사용자는 최대 20 개의 독립적인 프로세스 레시피 (레시피) 를 구성할 수 있으며, 이를 저장하여 나중에 처리할 수 있도록 재사용할 수 있습니다. 이러한 통합 자동화 (Integrated Automation) 기능은 프로세스 레시피를 추적하고, 프로세스를 모니터링하고, 처리 중에 발생할 수 있는 문제를 진단하는 기능을 제공합니다. 통합 클린 룸 및 격리 시스템을 통해 LAM RESEARCH Exelan A6은 깨끗한 환경에서 작동 할 수 있습니다. 안전 기능이 내장되어 있고 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 기능을 갖춘 자산은 비상 사태가 발생할 경우 자동으로 종료될 수 있으며, 비정상적인 압력, 온도 초과 (over temperance), 전력 장애 (power disturbance) 와 같은 문제를 감지하고 보고할 수 있습니다. 엑셀란 A6 (Exelan A6) 은 에칭 및 애싱 프로세스 생산을 위해 안정적이고 효율적인 플랫폼을 제공하여 리소그래피, 엠보싱, 진공 프로세스, 기타 관련 프로세스와 통합됩니다. 궁극적으로, 이 모델은 다양한 산업을위한 마이크로 (micro) 및 나노 (nano) 크기의 기판 구조를 빠르고 쉽게 처리 할 수 있습니다.