판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9259241

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ID: 9259241
Asher.
GASONICS/NOVELLUS L 3510은 얕은 트렌치 격리 (STI) 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 화학 증기 증착 (CVD) 에처/애셔입니다. 그것은 1/4 미크론 치수에서 증착 균일성을 향상시키고 높은 에치 레이트와 낮은 결함을 제공합니다. GASONICS L 3510은 반도체 웨이퍼 처리를 위해 회전 가능한 척 (chuck) 을 갖춘 단일 챔버 도구이며 고급 UHV (Ultra-High Vacuum) 챔버 설계가 특징입니다. NOVELLUS L 3510에는 가변 주파수 RF 소스, 2 개의 독립 플라즈마젯, 구성 가능한 MPLS (Multi-Probe Loading System) 및 공간 위치 제어 및 정확한 미세 튜닝을위한 고속 내부 레이저 간섭계가 장착되어 있습니다. L 3510 의 HA (High Automated Controller) 는 정밀한 가스 흐름 속도와 온도 조절을 제공하며, 웨이퍼를 효율적으로 처리할 수 있는 포괄적인 프로세스 진단 기능을 제공합니다. GASONICS/NOVELLUS L 3510 (GASONICS/NOVELLUS L 3510) 은 기판에 프로세스 가스를 정확하게 전달하는 기능을 가지고 있으며, 향상된 정확도와 위치 제어를 통해 낮은 압력 및 온도 범위에서 작동 할 수 있습니다. 챔버 설계는 대형 영역 장치의 경우 전체 기판 표면에 걸쳐 최대 200mm 웨이퍼를 최대 500mm (A-A-A-A-A-A) 및 0.25nm 균일 (A-A-A-A-A-A-A) 로 처리할 수 있습니다. GASONICS L 3510은 가장 높은 에치 선택성과 향상된 성능을 제공하는 여러 가지 기능을 제공합니다. 병렬 뒷면 스트립 소스, 개선 된 바닥 스트립 소스, 개선 된 위성 소스가 특징입니다. 이를 통해 반복성이 향상되고 처리량이 높아집니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface, Graphical User Interface, GUI) 를 갖춘 정교한 사이클 컴퓨터는 최고의 편리함과 함께 레시피 생성 및 관리를 지원합니다. 전반적으로 NOVELLUS L 3510은 높은 수준의 성능과 정확도를 제공하는 고급 etcher/asher입니다. 이 제품은 처리량이 매우 높고 결함이 낮은 기판에 필름을 증착할 수 있으며 STI 기반 응용 프로그램에 이상적입니다. 이것 은 최고 의 수율 과 최고 의 "필름 '질 을 유지 하면서, 정확도 와 처리량 을 증가 시키는 효과적 인 방법 이다.
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