판매용 중고 BRANSON / IPC MU 2112-40-24S #179077

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ID: 179077
Ultrasonic Tank Tank only, no controller 24 element, 40 kHz. Inside Dimensions: 2"L x 12"W x 14"H.
BRANSON/IPC MU 2112-40-24S etcher-asher는 실험실 및 산업 환경에 이상적인 안정적이고 효율적이며 비용 효율적인 에칭 및 애싱 솔루션입니다. 24 인치 에칭 챔버와 40 인치 애싱 챔버가있는 단일 웨이퍼 머신입니다. 에처-애셔 (etcher-asher) 는 강력한 마그네트론과 자동 펄스 DC 공급을 결합하여 에칭 및 애싱 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이것은 두 프로세스 모두에서 뛰어난 균일성과 균일성 성능을 제공합니다. IPC MU 2112-40-24S는 또한 입자가 적고 환경 영향을 최소화하여 안전하고 책임있는 운영을 제공합니다. BRANSON MU 2112-40-24S는 빠르고 반복 가능한 작업을 위해 설계되었습니다. PLC 기반 제어 플랫폼, 고급 통신 인터페이스, 자동 진단 및 효율적인 프로그래밍, 모니터링, 성능 최적화를 위한 사용자 친화적 인 터치 스크린 인터페이스가 장착되어 있습니다. 또한, 고급 다이렉트 에칭 (direct etching) 및 O2 애싱 기술이 통합되어 에칭 중 균일 한 필름 증착을 보장하면서 애싱 성능이 향상됩니다. 에처 애셔 (etcher-asher) 는 안전과 최적의 성능을 보장하기 위해 여러 층의 단열재가있는 고품질 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성됩니다. 에칭 챔버에는 이동 가능한 쿼츠 잠금 (Q-LOCK) 창과 고급 통합 ECR 구동 플라즈마 소스가 장착되어 있습니다. 자동 후딩 (automated hooding) 으로 차폐되는 창은 입자 수준을 유지하고, 오염을 최소화하고, 공정 시간을 단축하도록 설계되었습니다. 자동 후드에는 간편한 1 단계 샘플 배치 및 검색을 위해 Q 잠금 창도 장착되어 있습니다. 안전 기능은 안전하고 안정적인 작동을 보장합니다. 모듈 식 드라이 사이드 공랭식 시스템 (dry-side air-cooling system) 이 포함되어 챔버 온도를 사전 프로그래밍 된 세트 포인트 아래로 유지합니다. 또한 엔클로저는 다중 레벨 (Multiple Level) 잠금 시스템으로 설계되어 모든 인력이 유해 지역에서 멀리 떨어져 있는지 확인합니다. 또한, 이중 장벽 화학 보호 (barrier chemistry protection) 가 통합되어 모든 공정 화학 물질이 운영자와 분리됩니다. MU 2112-40-24S etcher-asher (MU 2112-40-24S 에처 애셔) 는 최신 기술의 정확성, 반복성, 안전성 요구 사항을 충족할 수 있는 솔루션을 필요로 하는 에칭 및 애싱 어플리케이션을 위한 효율적이고 안정적인 도구입니다. 자동화된 기능, 고급 컴포넌트 (advanced component) 및 안전 (safety) 기능을 통해 실험실과 산업 환경 모두에게 이상적인 선택이 가능합니다.
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