판매용 중고 AXCELIS / FUSION RapidStrip 320 #9254126

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ID: 9254126
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Stripper / Asher, 12" 2007 vintage.
AXCELIS/FUSION RapidStrip 320은 반도체 제조 업계에서 고속 생산을 위해 설계된 고급 etch/ash 프로세스 모듈입니다. 이 도구는 분당 최대 120 옹스트롬 (Angstrom) 의 빠른 실리콘-에치 속도와 저온 재 프로세스를 제공하여 고급 기술 누출 및 유전체 이완 요구 사항을 충족시킵니다. FUSION RapidStrip 320은 SmartStrip 프로세스 제어 알고리즘 (예: 탁월한 에치 균일성 및 반복성) 및 시간당 최대 500 웨이퍼가 가능한 높은 처리량 생산 모듈과 같은 다양한 기능을 자랑합니다. 이중 극성 플라즈마 박스는 플루오로 카본, 플루오로 실란, 플루오로 보레인 화학 물질과 같은 모든 유형의 에찬트를 처리하여 최대 상시 및 장비 활용을 보장합니다. AXCELIS RapidStrip 320은 또한 CMP (Chemical-Mechanical Polishing) 시스템을 사용하여 수동 연삭, 연마 및 도금 단계의 필요성을 제거하고 기질의 고정밀 에칭 및 재싱을 보장합니다. 고급 에치 제어 기법은 에치 속도를 제어하기 전에 플라즈마 파워 (plasma power), 흐름 속도 (flow rate) 및 기판 재료 유형 (type of 기판 재료) 과 같은 요소를 결합합니다. 이렇게 하면 모든 단계가 정확하고 일관되게, 최소한의 불일치로 수행됩니다. 이러한 기능은 VOCs (Volatile Organic Compounds) 배출량을 감소시키는 Clean Zone 개념과 같은 고급 안전 및 환경 컨트롤과 연결됩니다. RapidStrip 320은 또한 플라즈마 청결성을 지속적으로 모니터링하고 최소 입자 오염을 보장하는 실시간 조정을 제공하는 고화질 PDQ (Plasma Diagnostic System) 를 사용합니다. 고급 기술과 사용자 친화적 인터페이스를 갖춘 AXCELIS/FUSION RapidStrip 320은 높은 복잡도 기판을 효율적으로 생산할 수 있는 최적의 시스템으로서, 운영 표준 (Operating Standard) 을 갖추고 있습니다.
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