판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293615044
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler는 효율적이고 비용 효율적인 IDM (Integrated Device Manufacturing) 생산을 가능하게하도록 설계된 고급 처리 원자로입니다. 이 시스템은 높은 처리량 및 기판 볼륨을 제공하도록 최적화된 멀티 챔버 (multi-chamber) 시스템이며, 플라즈마 손상 수준을 크게 줄입니다. 원자로는 열 산화, 질화물 증착, 저k 유전체 증착, 포토 마스크 에치 등 다양한 공정 기술을 확장하도록 설계되었습니다. 주 챔버, 하중 잠금 (load lock) 및 전사 챔버 (transfer chamber) 의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 주 챔버에는 정밀 RF (radio-frequency) 발전기가 장착되어 있으며, 이는 AC 자기장과 결합하여 우수한 공정 제어 및 균일성을 가능하게합니다. AMAT Centura Enabler는 0.02 Torr에서 760 Torr까지 광범위한 압력으로 작동 할 수 있습니다. 또한, 열 아닐링 및 냉각 프로세스를 가능하게하기 위해 여러 기판 냉각 및 난방 단계를 특징으로합니다. 이 로 말미암아 더 빠른 열 처리 를 할 수 있게 되고, 조절 된 온도 를 제공 함 으로써 증착 된 "필름 '의 균일성 을 극대화 시킨다. APPLIED MATERIALS Centura Enabler (APPLIED MATERIALS Centura Enabler) 의로드 잠금 장치는 더 큰 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 헬륨 재킷 콜드 핑거 기술로 냉각됩니다. 이것은 더 빠른 처리량과 향상된 기판 균일성을 제공합니다. 로드 잠금 (Load Lock) 의 환경 분리는 또한 효율적인 작동을 보장하며 오염이없는 기판이 Centura Enabler에 로드되도록 보장합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler에는 정교한 전송 챔버도 있습니다. 이 챔버는 정확한 기판 처리를 돕고 3 축 로봇으로 운영됩니다. 또한, 전사 챔버 (transfer chamber) 는 주 챔버에서 분리되어 우수한 오염 제어 및 공정 반복 가능성을 제공한다. 전반적으로 AMAT Centura Enabler는 고품질 IDM 생산을 가능하게 하는 강력한 원자로입니다. 다양한 고급 기술이 적용된 이 제품은 탁월한 성능, 생산성, 균일성을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Centura Enabler는 IDM 생산에 이상적인 강력한 도구입니다.
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