판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #9096371

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus는 마이크로 제조 프로세스를 돕기 위해 설계된 에처/애셔입니다. TEL에서 제조하며 매우 정확하고 효율적인 도구입니다. TEL TELINDY Plus는 정확도가 높은 에칭 및 애싱 장비로 설계되었습니다. 이 시스템에는 정확한 웨이퍼 정렬, 기판 동작 제어, 통합 기판 온도 제어가 포함됩니다. 따라서 에칭 프로세스가 정확하고 정확합니다. 기계에는 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 처리 할 수있는 챔버 용량이 있습니다. 특수 자동 제어 (autocontrol) 기능이 장착되어 있어 기판 처리를 자동화하고 에칭을 효율적으로 수행할 수 있습니다. 또한 입자 필터 단위 (particle filter unit) 를 사용하여 미세 입자가 챔버 및 웨이퍼 표면에서 제거되도록 할 수 있습니다. 또한, TOKYO ELECTRON TELINDY Plus에는 통합 전처리 기계가 있으며, 이는 에칭 또는 애싱 프로세스를 처리하기 전에 웨이퍼를 청소하는 데 도움이됩니다. 또한, "과산화수소 '수산화 수소 전달 도구 를 가지고 있는데, 그것 은" 과산화수소' 용액 을 약실 에 전달 하고 절단 시킨다. 이렇게 하면 프로세스가 안전하고 효율적인지 확인할 수 있습니다. TELINDY Plus (TELINDY Plus) 는 에칭 및 애싱 프로세스 (예: 높은 정확도 타이머 및 자동 원격 제어 드라이브 자산) 를 지원하는 몇 가지 다른 기능도 있습니다. 기계에 프로그래밍 할 수있는 다양한 에치 레시피 (etch 레시피) 가 있으며, 소프트웨어에는 안전 검사 (safety check) 가 내장되어 있어 각 프로세스에 올바른 양의 가스 압력 (gas pressure) 과 전류 (current) 만 사용됩니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus는 고품질의 에처/애셔입니다. "웨이퍼 '처리 를 위한 효율적 이고 정밀 한" 모델' 을 제공 하며, 안전성 이 뛰어나며, 그 과정 에 도움 이 되는 여러 가지 설정 과 특징 이 있다. 마이크로패브라이케이션 (microfabrication) 프로세스에 유용한 툴로서, 고품질, 신뢰성 있는 최종 제품을 생산하는 데 도움이 됩니다.