판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #93399
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판매
ID: 93399
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2004
Nitride LPCVD furnace, 8"
170 wafer slots
Tool Specific Information:
Heater Part No: VMM-40-101
Software Version: Ver3.11 R005 WAVE
System Power Rating: 110AC One Phase / 208 AC
Loading Configuration: 6 Loader
Main System:
WAVES Controller
Photohelic Gauge
Boat Elevator
Wafer Load Automation
21 Cassette Stocker
Temperature Controller (M560)
Furnace Monitor, Power Control Unit
Remote Utility&Gas Cabinet
Inner T/C for Ration Mix
Auto Shutter
Gas System (NH3, DCS)
Options:
Signal Tower
Pitch Change Mechanism
UPS
GEM Communication
N2 Load Lock Ambient Control:
Quartz ware
Load size 170 wafers
Load lock purge system
Process gas: NH3, DCS
Gas Type - Convention Gas System
Tubing material - Stainless steel
Tubing Finish - Electro-polish
Manual valve - FUJIKIN
Fitting Type - VCR/UJR
Air-Operated valve - FUJIKIN
Filter - MILLIPORE
Regulator - VERIFLO
MFC - AERA
Pressure transducer - MILLIPORE or NAGANO
Remote Components:
Utility Box Power Rating: 110/208AC
Pump Power Rating: 208AC-3 (Not Included)
UPS Power Rating: 110AC-1
MFCs Summary
MFC_NB (N2) 10sLm
MFC_NR (Pure-N2) 50sccm
MFC_NX (Pure-N2) 20sLm
MFC_NY1 (Pure-N2) 200sccm
MFC_NY2 (Pure-N2) 200sccm
MFC_N1 (Pure-N2) 5sLm
MFC_N2 (Pure-N2) 5sLm
MFC_M1 (NH3) 2sLm
MFC_D1 (SiH2Cl2) 200sccm
MFM_M1 (Pure-N2) 2sLm
MFM_D1 (Pure-N2) 200sccm
Packing List:
Power-Box
UPS
Main-Body
Gas-Box
Heater
O2 Analyzer
Vacuum Exhaust Pipe
Cables
Top Heater Frame
Filter Fan
Gas-Box Door
EXT IN Unit
Gas-Box Exhaust Support
Backend Pipings
Scavenger Flexible Duct
Accessories 2 white boxes + 1 wafer container
N2-LL Pipings Tray
(Qty 3) Cable Trays
Loading Area Cover
Backend Support/ Cover
(Qty 5) Heater Panels
Main-Valve
Crated in a warehouse
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE 확산 로와 액세서리는 반도체 실험실을 위해 특별히 설계된 산업용 난방 장비 및 액세서리 패키지입니다. 이 확산 로와 그 구성 요소는 도펀트 제거, 어닐링 (annealing), 기판 증착 (substrate deposition) 을 포함하여 고온 반도체 처리를 위해 저렴하고 신뢰할 수있는 솔루션을 제공합니다. TEL ALPHA-8SE 시스템에는 8 인치 로드 록 챔버 (loadlock chamber) 가 장착되어 있어 용광로의 빠르고 일관된 전처리 및 후처리 로드가 가능합니다. 또한 편의를 위해 쿼츠웨어 캐리어, 로드웨어 캐리어 및 기판 로더가 장착되어 있습니다. 냉각팬 (cooling fan) 은 온도가 일관되게 유지되므로 프로세스에서 프로세스까지 안정적이고 일관된 성능을 보장합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE는 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있으므로 모든 크기의 반도체 실험실에 적합합니다. 내장 활성 닫힌 루프 온도 제어는 정확성, 유연성 및 반복성을 보장합니다. 이 장치에는 또한 프로그래밍을 단순화하고 일관된 결과를 보장하는 메뉴 제어 소프트웨어 프로그램 (menu-controlled software program) 이 있습니다. TEL ALPHA 8S-E 확산 로와 액세서리는 고품질 재료로 만들어져 다양한 반도체 재료 및 증착 공정과의 호환성을 보장합니다. 실리콘, 갈륨 비소 및 다이아몬드 템플릿은 모두 기계에서 처리 할 수 있습니다. 견고한 건축과 설계로 인하여 가장 견고한 실험실 환경에서 견고하고 신뢰할 수 있습니다 (영문). 모든 반도체 실험실에서 일관된 품질은 안정적인 결과에 필수적입니다. TEL Alpha 8SE (Alpha 8SE) 확산 용광로 및 액세서리를 사용하면 품질 및 처리량 측면에서 인상적이고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 제품은 엄격한 반도체 처리 요구를 충족하는 간단하고 간단한 솔루션을 제공합니다.
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