판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9118909

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE는 특수 반도체 프로세싱을위한 확산 로와 액세서리 패키지입니다. 이 확산은 고급 제어 및 모니터링 시스템을 사용하여 반도체 처리 중 작동 온도 및 챔버 압력을 정확하게 유지합니다. TEL ALPHA-8SE는 2 구역 열실 (heat-up chamber) 에서 작동하여 균일 한 열 특성과 뛰어난 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 진공 챔버는 304 스테인리스 스틸로 제조되며 350mm의 노출 챔버를 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE는 질소/아르곤/수소 기반 대기를 사용하여 반도체 재료의 핵화 및 단편화를 감소시켜 품질 결과를 보장합니다. 확산 프로세스는 포함된 확산 레티클 이미지 모니터링 시스템 (Reticle Image Monitoring System) 에 의해 모니터링되며, 실시간 성능을 측정합니다. 이 시스템은 노출 중 실리콘 웨이퍼의 필름 특성을 정확하게 분석하여 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E를 반도체 처리에 가장 정확한 장비 중 하나로 만듭니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE에는 수동 제어 또는 전체 자동화를 허용하도록 프로그래밍 가능한 열 제어 시스템이 있습니다. 온도는 0-1100 ° C에서 정확하게 조절 할 수 있으며, 효율적이고 일관된 성능을 위해 제어 된 열 플럭스 및 확산 속도를 제공합니다. 프로세스 모니터링을 위해 진공 뷰 포트 창이 제공됩니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8SE에는 간편한 유지 관리, 구성 요소 정리 등 안전하고 일관된 작동을 보장하는 몇 가지 기능이 있습니다. 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 제작 된 스로틀 밸브는 고온 노출 및 산화로부터 밸브를 보호하기 위해 포함됩니다. TEL ALPHA-8 SE는 또한 용광로에 들어가는 오염 물질의 양을 줄이기 위해 선택적 스크러버를 제공합니다. TEL ALPHA 8S-E는 안정적이고 정밀하게 설계된 확산 로로, 고급 반도체 패키지에 필수적입니다. 자동화, 고급 온도 조절 및 모니터링을 결합한 ALPHA-8 SE는 우수한 품질로 일관된 결과를 제공합니다.