판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9083654

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE는 최첨단 저온 및 저압 반도체 확산 로와 액세서리입니다. 이 최첨단 장비는 중요한 프로세스 매개변수 (process parameter) 의 모니터링 및 제어로 뒷받침되는 정확하고 재현 가능한 증착률을 가능하게 합니다. 최대 1.33 Pa, 최대 200 ° C의 넓은 작동 압력으로 TEL ALPHA-8SE는 장치 구조에 악영향을 미치지 않고 평화롭고 온도 조절 된 확산 프로세스를 허용합니다. 다른 구성 요소, 즉 가열 챔버, 서셉터 (용광로 하단) 및 온도 조절 장치로 구성됩니다. 확산 로 의 가열 된 방 은 "스테인레스 '강철 로 만들어졌으며 광학 접점 을 위한" 쿼츠' 창문 을 갖추고 있다. 흑연 "서셉터 '는 열 을 균일 하게 분배 하기 위한 설계 에 포함 된다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE에는 더블 에지 웨이퍼 척 (Double Edge wafer chuck) 도 있습니다. 온도 제어 장치 (Temperature Control Unit) 에는 단일 영역 (Single Zone) 및 다중 영역 컵 구성 (Multi-Zone Cup Configuration) 이 있어 용광로의 다른 위치에서 정밀한 온도 제어가 가능합니다. TEL ALPHA 8 S E에는 고장으로 인한 온도 편차를 감지하여 안전한 작동을 보장하는 고급 안전 시스템 (Advanced Safety System) 이 추가로 장착되어 있습니다. 또한 ALPHA-8SE 확산 로는 목표 온도, 압력 및 총 압력 범위 (total pressure range) 와 같은 증착 프로세스 매개변수에 대한 완전한 디지털 제어를 제공합니다. 컨트롤러는 대상 매개 변수가 각 프로세스 단계에 대해 원하는 범위 내에 있는지 확인합니다. 따라서 이 (가) 보다 일관된 결과를 올립니다. 또한 프로세스 제어 장치 (process control unit) 에는 데이터 획득 및 이벤트 로깅이 포함되어 있어 프로세스 매개변수를 손쉽게 검토할 수 있습니다. ALPHA 8 S E 확산 로와 액세서리는 내구성이 뛰어나고 우수한 결과를 제공하므로 모든 종류의 반도체 제작, 연구, 일반 실험실 응용에 이상적입니다. 이 기계는 고품질 소재와 부품 (구성 요소) 으로 제작되어 긴 서비스 수명과 안정적인 운영을 촉진합니다. 또한 ALPHA 8 SE 는 게이트 밸브 (Gate Valve), 배기 플랜지 제어 (Exhaust Flange Control) 등 다양한 추가 기능을 갖추고 있어 고객 요구 사항에 따라 최대의 사용자 정의를 보장합니다.