판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9017734

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE
판매
ID: 9017734
TEOS Furnace, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE는 반도체 제조 및 고급 포장을위한 확산 로와 액세서리입니다. 이 제품은 가장 까다로운 어플리케이션의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 단면 및 양면 기판 모두에 대해 모든 공통 프로세스를 수행 할 수 있습니다. TEL ALPHA-8SE는 프로그래밍 가능한 온도 곡선, 빠른 열 주기 시간, 다양한 특수 재료 작업 기능 등을 통해 가장 까다로운 트랜지스터, 다이오드, LED 장치를 위한 이상적인 도구입니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE는 RTP (Rapid Thermal Process) 기술을 사용하여 최적의 열 결과를 얻습니다. 이를 통해 빠른 온도 사이클링과 빠른 처리 시간을 허용하여 시간, 돈, 에너지를 절약 할 수 있습니다. 또한, 이 독특한 기술은 넓은 온도 범위에서 섭씨 +/-3도 내에서 우수한 온도 조절을 허용합니다. 안전성을 강화하기 위해 확산 로에는 여러 가지 모션 센서, 핫스팟 탐지기, 긴급 차단 방지 장치 (emergency shut-off protection mechanism) 가 장착되어 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E 확산 로도 다양한 고급 가스 전달 시스템을 사용합니다. "가스 '는 직접" 가스' 분사 나 회전 하는 "가스 '분배기 를 사용 하여 신속 하고 정확 하게 방에 전달 된다. 이를 통해 양산에 대한 고품질 필름 증착 및 반복성이 보장됩니다. 또한, 수직 용광로 설계는 높은 처리량, 낮은 운영 비용, 적은 손상으로 생산됩니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE (TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE) 에는 간단한 설치 및 작동이 가능한 챔버 측면에 수직으로 사용하기 쉬운 연산자 인터페이스가 있습니다. 실시간 데이터 디스플레이, 웨이퍼 바이 (wafer by wafer) 추적, 휴대용 소프트웨어 데이터 로깅, 자가 진단 등의 고급 기능을 통해 사용자는 작업을 쉽고 정확하게 제어할 수 있습니다. 게다가, 이 장비에는 오랜 시간이 지난 후에도 높은 성능을 보장하는 포괄적인 자가 교정 (self-calibration) 기능이 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8SE에는 사용자 및 직원을 부상으로부터 보호하기 위해 여러 가지 고급 안전 기능이 포함되어 있습니다. 다층 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 건설은 귀중한 투자를 보호하는 데 도움이되고 긴급 차단 시스템은 사고 위험을 최소화합니다. 또한, 이 장치는 고온 침입 탐지 기계를 사용하여 안전한 작동을 보장합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE는 정밀 확산 및 고급 포장 프로세스를위한 고급 솔루션입니다. RTP (Rapid Thermal Process) 기술, 고급 가스 전달 시스템, 수직 용광로 설계, 다목적 운영자 인터페이스 및 포괄적인 안전 기능으로 광범위한 어플리케이션에 적합합니다.
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