판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #171156

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE는 반도체 재료, 특히 실리콘 기반 웨이퍼를 최적화하는 데 탁월한 정밀도와 제어를 제공하도록 설계된 확산 로입니다. 퍼니스는 정밀 가공, 원통형 알루미나 챔버 (alumina chamber) 및 확산 프로세스를 관리하고 모니터링하는 공정 제어 장비로 구성됩니다. 디퓨저는 저항성 전류를 사용하여 가열되어 섭씨 1800 도의 온도를 생성합니다. 난방 장치 와 방사선 "실드 '의 독특 한 배열 은 정확 하고 균일 한 난방 을 가능 하게 하여" 에너지' 소모 를 줄이는 데 도움 이 된다. 프로세스 제어 시스템 (Process Control System) 에는 확산 프로세스의 모든 매개변수를 모니터링하고 제어하는 전용 TEL 소프트웨어가 장착된 최첨단 제어판 (State-of-the-art Control Panel) 이 있습니다. 이 인터페이스에는 레시피를 자동화, 저장하는 고급 기능, 실시간 모니터링 성능 등이 포함되어 있습니다. 터치 스크린 모니터와 조그 휠 컨트롤은 운영자의 유용성을 크게 향상시킵니다. 또한, 이 장치에는 최대 10,000 개의 레시피가 허용되는 데이터 저장 기능이 있습니다. TEL ALPHA-8SE에는 최적의 확산 성능과 수명 (수명) 을 보장하기 위해 여러 가지 안전 기능 및 냉각 메커니즘이 장착되어 있습니다. 용광로 (furnace) 는 3 개의 독립적으로 통제 된 질소 주입 지점과 가열 요소가 너무 많은 질소에 노출되지 않도록 비상 환풍구로 설계되었습니다. 자동 냉각기는 내부 대기를 미리 설정된 조건으로 빠르게 냉각시켜 산화를 줄입니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE는 수동 및 자동 모델 모두에서 사용할 수 있습니다. 수동 장치는 1 단계 수 소화물 및 확산 로로, 최대 12 인치 크기의 단일 웨이퍼를 도핑 할 수 있습니다. 완전 자동화 버전은 한 번에 최대 135 개의 웨이퍼를 처리 할 수있는 대규모 프로덕션 실행에 이상적입니다. 두 모델 모두 수직 또는 수평 방향으로 작동 할 수 있습니다. 알파 8SE (Alpha 8SE) 는 다양한 액세서리에 의해 지원되며, 대부분은 사전 로드 및 전송 시스템, 카세트로드 시스템 및 보충 가스 분사 시스템을 포함합니다. 최대한의 정밀 엔지니어링으로 구축 된 알파 8 SE (ALPHA 8 SE) 는 반도체 웨이퍼 생산에 이상적인 확산 로입니다.