판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #141287

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE는 고급 반도체, MEMS 및 태양 광 응용을 위해 특별히 설계된 확산로, 액세서리 및 재료입니다. 최대 섭씨 1,200도에서 2개의 200mm, 150mm 또는 100mm 웨이퍼를 동시에 처리하여 대용량 처리를 가능하게 하는 full-front, dual-slot 슬롯 로딩 챔버를 갖춘 독특한 디자인이 특징입니다. 확산 퍼니스에는 RF 자동 리프트 (auto-lift) 기능도 있어 불필요한 챔버 로딩 및 언로드 시간을 줄여 보다 원활한 작동 및 높은 처리량을 제공합니다. 또한 자동 전송 암 (Automatic Transfer Arm) 및 비전 시스템 (Vision System) 옵션을 제공하여 확산 프로세스에 추가 자동화를 추가할 수 있습니다. TEL ALPHA-8SE 는 직관적인 HMI (Human Machine Interface) 및 고급 임베디드 컨트롤러 (Embedded Controller) 와 같은 고급 기술을 통해 즉시 피드백을 제공하고 용광로를 제어합니다. HMI 는 깨끗 하고 간단 한 UI (UI) 를 제공하며, 용광로 의 작동 을 제어 하고 관리 하는 데 필요 한 정보 (예: 챔버 온도, 압력 판독) 에 직접 접근 할 수 있다. 또한 임베디드 컨트롤러 (Embedded Controller) 는 용광로의 프로세스 매개변수를 자동으로 조정하여 실시간으로 최적의 성능을 제공합니다. 이 첨단 제어 기술은 프로세스 챔버에 대한 동적 적응, 최적화 및 지속적인 개선을 실현합니다. 또한 TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE에는 석영 형 히터 튜브, 가스 정화 및 유통 시스템, 온도 센서 및 다용도 및 신뢰할 수있는 용광로 용 듀얼 슬롯 로딩을위한 사다리꼴 석영 카세트가 포함 된 고급 액세서리 패키지가 포함되어 있습니다. 이 패키지의 추가 기능으로는 온도 균일성 향상, 수냉식 4 개 콘센트 가스 박스, 자동 가스 전달 시스템, PASS 연동 시스템 및 증발기 보호 (evaporator protection) 와 같은 고급 안전 기능을 제공하는 대형 쿼츠 히터가 있습니다. 전반적으로, ALPHA 8 S E 확산 로는 다양한 웨이퍼 크기와 어플리케이션에 걸쳐 혁신적인 성능과 고급 기능을 제공하여 고급 반도체, MEMS, 태양광 응용프로그램의 까다로운 요구 사항을 충족하는 데 이상적인 선택입니다.