판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #115121

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-Z는 확산 로로, 주로 솔리드 스테이트 장치를 만들고 조작하는 데 사용됩니다. 이 특수 한 용광로 는 "반도체 '와 같은 물질 을 고온 과 압력 으로 가공 하고 제어 하는 데 사용 된다. TEL ALPHA 8SEZ의 온도 범위는 최대 2000 ° C이며 압력 범위는 최대 10 torr입니다. 이 확산 퍼니스의 디자인은 스테인레스 스틸 (stainless steel), 몰리브덴 (molybdenum) 및 실리콘 카바이드 (silicon carbide) 로 만들어진 샘플/웨이퍼 척 (sample/wafer chuck) 을 특징으로합니다. 이 모델 확산 로에는 특수 액세서리 (예: 용광로 온도를 정밀하게 줄일 수있는 특수 냉각 장비) 도 포함되어 있습니다. 용광로 자체는 다양한 프로시저에 신속하고 정확하게 적응할 수 있으며, 이를 통해 열 처리 (heat treatment) 에 대한 매개변수를 정확하게 프로파일링 할 수 있습니다. PID 온도 컨트롤러로 온도를 지속적으로 모니터링하고 유지합니다. 램프 (ramp) 와 비누 (soak) 를 포함한 여러 세그먼트에서 최대 두 프로세스의 온도 프로파일을 프로그래밍할 수 있으며, 반복 가능하고 정밀한 열 프로세스를 허용합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Z에는 샘플/웨이퍼를 빠르고 편리하게 적재 및 언로드할 수있는 활성 카세트 리프트 시스템도 포함되어 있습니다. 그 설계 는 또한 균일 한 기질 표면 온도 를 허용 하는데, 이것 은 "반도체 '산업 에서 정확 하고 정확 한 열 처리 를 이루는 데 필수적 이다. 용광로는 직접 구동 (direct-drive), 자가 냉각 모터 (self-cooled motor) 를 사용하는데, 이 모터는 전원 공급 장치를 감수기에 중단되지 않고 정확하게 제어 할 수 있습니다. Alpha 8SE-Z는 디자인으로 인해 매우 안전합니다. 문 에는 자동 안전 잠금 장치 가 있으며, 여과 장치 는 "플루오린 '이나 염소 와 같은 유해 한" 가스' 가 방출 되지 않도록 보장 한다. 이 용광로 (furnace) 는 또한 지능형 프로그램 모니터를 특징으로하며, 장치 조건이 능동적으로 모니터링되어 작동 중에 발생할 수 있는 모든 문제를 감지합니다. 또한, 각 발전기를 자체 패널에서 제어할 수 있으므로, 빠르고 효율적인 기계 조정이 가능합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE Z는 재료 처리 및 제어에 대한 높은 수준의 정확성과 신뢰성을 제공하는 최첨단 확산 로입니다. 기온 범위, 압력 범위 (pressure range), 안전 (safety) 기능을 통해 반도체 업계의 광범위한 응용을위한 이상적인 도구입니다.