판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE (N2LL) #197477

TEL Alpha 8SE (N2LL) 확산 로는 반도체 처리를 위한 최상위 도구로서, 온도, 압력, 유속 등 중요한 매개변수에서 정확하게 제어할 수 있습니다. 밀폐 된 스테인리스 스틸 챔버 (stainless-steel chamber) 를 통해 Alpha 8SE는 다양한 유형의 처리를 수용 할 수있는 다양한 대기권에서 작동 할 수 있습니다. 새롭게 설계된 적외선 난방 장비는 균일 한 공정에 균일 한 열 분배 (hat distribution) 를 제공하고 빠른 교전을 위해 빠른 복구를 제공합니다. 또한 Alpha 8SE는 독립적 인 PID 온도 컨트롤러 및 컴퓨터 제어 시스템을 사용하여 고정밀 온도 제어를 제공합니다. 풀 웨이퍼 (full-wafer) 처리를 위해 설계된 알파 8SE (Alpha 8SE) 는 다양한 유형의 장비와 레시피를 사용할 수 있고 장비를 업그레이드하거나 다른 레시피에 쉽게 교체 할 수있는 내부 챔버를 특징으로합니다. 더 큰 유연성을 위해, 맞춤형 시스템은 특정 주문에 따라 설계될 수 있으며, 최대한의 유연성과 성능에 맞게 조정할 수 있습니다. 운영자의 안전을 보장하기 위해 Alpha 8SE는 내장 버블 방지 챔버 (bubble-proof chamber) 및 다중 축 동작 모니터링 시스템 (flat-plane visual monitoring system) 과 같은 향상된 보호 시스템을 갖추고 있습니다. 빠르고 정확한 현장 로딩은 로봇 로딩 장치 (REX) 를 사용하여 보장되며, 이는 다양한 웨이퍼 크기를 에뮬레이트하고 연약한 기판을 쉽게 처리 할 수 있습니다. 균일 한 처리를 위해, 빠른 가스 전달 기계는 N2 및 Ar과 같은 더 균일 한 가스 흐름을 제공하는 반면, 통합 된 저질량 가스 밸브 (low-mass gas valve) 는 가스 흐름에서 높은 수준의 제어를 허용합니다. 알파 8SE (Alpha 8SE) 는 손쉽게 설치, 운영, 유지 보수가 가능하며, 손쉽게 시각화 (visualization) 창과 내장 원격 인터페이스를 통해 원격 컴퓨터의 액세스 및 작동을 지원합니다. 또한, 이 도구는 시각화 된 경고 자산, 이중화 온도 센서, 이중 긴급 장치 (Emergency Off) 단추를 통해 최대한의 안전성과 안정성을 보장할 수 있도록 설계되었습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON Alpha 8SE (N2LL) 확산 로는 수많은 안전 기능을 갖춘 반도체 처리에 대한 정확한 제어를 제공하는 고성능 도구입니다. 다양한 정교한 기능을 갖춘 이 모델은 수많은 어플리케이션 (application) 을 위한 강력하고 효율적인 확산 솔루션을 제공합니다.