판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E #9275714

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ID: 9275714
빈티지: 2003
Furnace, parts system With bubbler gas box Instrument panel 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E는 단일 웨이퍼 및 멀티 웨이퍼 응용 프로그램을위한 수직 배치 열 처리 장비입니다. 구성 요소 온도 모니터링 시스템과 닫힌 루프 온도 및 압력 제어 장치가 있습니다. 기계는 증가 된 온도 균일성과 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. 그 설계는 또한 넓은 온도 범위와 정확한 온도 조절 (temperate control) 을 제공하여 초기 ~ 후기 반도체 공정에 적합합니다. TEL Alpha 8SE-E는 확산 및 불순물 어닐링 프로세스를 모두 가능한 단일 웨이퍼, 다중 배치 확산 로입니다. 온도 범위는 200 ° C에서 1050 ° C 사이이며, 확산, 산화, 질화, 질화 및 어닐링을 포함한 다양한 프로세스에 이상적입니다. 용광로의 온도 균일성은 ± 1 ° C 이상이며, 균일 한 도핑 및 웨이퍼 열 처리를 허용합니다. 퍼니스에는 탑로드 (top-loader) 와 가스 흐름 (gas flow) 도구가 내장되어 있어 작업 분위기의 가스 흐름을 제어할 수 있습니다. 저열 질량, 화학적으로 불활성 물질 (inert material) 로 만들어져 웨이퍼의 빠른 열 처리를 가능하게합니다. 또한 용광로를 쉽게 적재 및 언로드하기 위해 여러 리프트 모터 (bottom-loader) 와 하단 로더 (bottom-loader) 가 있습니다. 웨이퍼는 웨이퍼 보트에 로드되고 육각형 홀더에 정렬됩니다. 자산에는 최대 정확도로 웨이퍼의 온도를 측정하는 TSS (Thermocouple Sensor Model) 가 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E에는 고온 작동 중에도 정확한 압력 및 온도 제어를 위해 PID (비례 적분 유도체) 제어 장비가 있습니다. 이것은 프로세스의 다양성과 정확성을 증가시킵니다. 안전을 위해 시스템에는 고온 경보기가 장착되어 있습니다. 외관은 패스코드 잠금 온도 제어 장치 (passcode-locked temperon control unit) 와 같은 안전 기능과 액세스 가능한 비상 정지 스위치가 장착되어 있습니다. 알파 8SE-E (Alpha 8SE-E) 는 다재다능하고 정확한 확산 로로 사용자에게 온도 균일성, 정밀도 및 제어가 향상되었습니다. 다양한 기능을 갖춘 이 제품은 다양한 반도체 (semiconductor) 프로세스와 애플리케이션에 적합합니다.
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