판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE A8SE-ZAR #115117

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE A8SE-ZAR는 여러 웨이퍼 프로세스 응용 프로그램을 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 여러 기판에 얇은 레이어를 배치하는 데 사용됩니다. A8SE-ZAR (A8SE-ZAR) 은 처리량을 극대화하고, 균일성을 향상시키며, 필름 두께와 증착률을 매우 정확하게 제어할 수 있도록 설계되었습니다. A8SE-ZAR는 균일 한 난방 메커니즘을 갖춘 컴퓨터 통합 멀티 웨이퍼 플랫폼을 기반으로합니다. 또한 멀티 챔버 자동화 시스템 (multi-chamber automation system) 이 장착되어 단일 프로세스 사이클에서 여러 프로세스 단계를 지원할 수 있습니다. 산화물 증착, 확산, 산화, 질화, 금속 증착, 확산 간, 에칭 및 패턴화와 같은 과정을 할 수 있습니다. A8SE-ZAR는 고급 CCD 카메라로 설계되었으며, 이 카메라는 자동 웨이퍼 간 정렬과 더 큰 정확도를 제공합니다. 또한 미립자 오염 발생률을 감소시키는 Window CF 필터가 포함되어 있습니다. 이 필터는 입자가 확산 챔버에 들어가는 것을 더욱 방지합니다. 이는 확장 실행에 비해 프로세스 반복성을 향상시키는 데 기여합니다. A8SE-ZAR에는 시스템에 내장 된 프로세스 제어 기능이 있습니다. 여기에는 챔버 전체의 온도 조절, 산화 및 질화 파라미터 (nitridation parameters) 가 포함됩니다. 또한 독점 확산 레시피 생성 알고리즘 (propusion recipe generation algorithm) 이 있으며, 프로세스 불확실성을 최소화하고 더 균일 한 결과를 생성합니다. 또한 A8SE-ZAR에는 프로세스 중단 없이 여러 레시피를 제어 할 수있는 엔두라 (Endura) 오프라인 제어 기능이 내장되어 있습니다. 또한 고급 RF 발전기 (Advanced RF Generator) 가 장착되어 에지 효과 손실을 줄여 균일성과 프로세스 수익률을 향상시킵니다. TEL Alpha 8SE A8SE-ZAR (TEL Alpha 8SE A8SE-ZAR) 은 신뢰할 수 있는 확산 로와 액세서리로, 고객은 비용 효율적인 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. 고정밀 제어 (high-precision control) 및 자동화 시스템을 결합하여, 제어 및 반복 가능한 프로세스를 균일성과 프로세스 정확성을 제공합니다. 또한 CCD 카메라, 필터, RF 생성기와 같은 제어 기능이 포함되어 있으며, 이 기능은 모두 프로세스 반복성 및 수익률에 기여합니다. 이 고급적이고 통합된 웨이퍼 (wafer) 처리 플랫폼은 현대 반도체 산업의 요구에 적합하다.