판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #62757

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ID: 62757
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
Diffusion doped poly furnaces, 8" LPCVD Phosphorus Doped Poly process configuration 150 production wafer load size TS4000Z system controller 440 V power requirement Boat rotation Tape heater and associated control Remote gas detection Exhaust monitors Tylan General throttle control Ulvac GP-2ARY vacuum monitor Gas System UHP N2 2x N2 10%Ph3/He SiH4 ClF3 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S 확산 로는 초청정 (Ultra Clean) 표면을 생성하여 다양한 기능과 기술을 이용할 수 있도록 설계된 고급 도구입니다. 고급 균일성 시스템 (Advanced Uniformity System) 은 처리 온도를 완벽하게 제어하는 반면, 강력한 열 소스는 확산된 레이어의 빠르고 효율적인 가열을 보장합니다. TEL ALPHA-8S 를 통해 고객은 최신 실리콘 및 화합물 기술을 활용할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S 확산 로는 여러 가지 고급 기능을 자랑합니다. 예를 들어, 8S에는 기판의 정확하고 균일 한 어닐링을 위해 고성능 컴퓨터 제어 핫 프레스 (Hot Press) 가 장착되어 있습니다. 프레스 (press) 에는 가열 중에 기판의 높이와 위치를 정확하게 유지하는 자동 높이 추적 핫 헤드 (hot head) 가 포함되어 있습니다. 또한 용광로는 온도를 원하는 지점으로 빠르고 정확하게 램프하는 FRH (Fast-Recovery Heating) 시스템을 자랑합니다. 이는 난방 시간을 줄이고 기판 전체에 걸쳐 엄격한 균일성을 유지함으로써 생산 비용을 절감하는 데 도움이 될 수 있습니다. TEL ALPHA-8 S에는 사전 프로그래밍 및 히터 설정 최적화를위한 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 와 즉석에서 변경할 수있는 사용자 친화적 인 인터페이스도 포함되어 있습니다. 따라서 다운타임과 주기 시간을 단축하고 성능을 최적화할 수 있습니다 (영문). 포함된 스마트 진공 시뮬레이션 (smart vacuum-simulation) 소프트웨어를 사용하면 증착 결과를 정확하게 시뮬레이션하여 증착 과정을 더 잘 준비 할 수 있습니다. 알파 8 S (ALPHA 8 S) 는 인상적인 기능 외에도 다양한 주변 장치 (예: 쿼츠 튜브 라디에이터, 포켓 벨트 및 내화층 처리를 위한 여러 도구) 중에서 선택할 수 있습니다. 용광로 (furnace) 는 또한 최신 TEL 처리 재료와 호환되므로, 고객에게 기능을 최대화할 수있는 기회를 제공합니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON ALPHA-8S 확산 로는 강력하고 신뢰할 수 있는 툴로서, 비용을 절감하면서 성능을 극대화할 수 있습니다. 이 제품은 효율성이 높고 다용도로 사용되며, 고객의 구체적인 요구에 부응하고 다양한 기능과 기술을 제공합니다 (영문). 수많은 장점으로, ALPHA-8 S는 신뢰할 수있는 확산 로를 찾는 사람에게 이상적인 선택입니다.
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