판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #180604

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 고급 고온 확산 로와 통합 액세서리입니다. 퍼니스는 반도체, MEMS 및 기타 마이크로 일렉트로닉스 산업에서 사용되는 샘플의 정밀 PECVD 처리를 위해 설계되었습니다. 안정적이고 작동하기 쉬운 플랫폼에서 실행되며 최대 1250 ° C의 온도를 처리 할 수 있습니다. TEL ALPHA-8S는 고급 고온 확산 성능과 탁월한 유연성을 제공합니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 사용하면 고급 프로세스 매개변수를 사용자정의하거나 기록 시간에 극단적인 레시피를 설정할 수 있습니다. 이중 RF 소스 유닛은 또한 적응력이 높으며, 비정질 실리콘 증착 (amorphous silicon deposition) 과 같은 고급 프로세스를 지원하도록 쉽게 조정 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S 퍼니스는 다양한 웨이퍼 및 기판을 처리 할 수 있으므로 프로토 타입 및 생산에 완벽합니다. 다른 용광로는 광범위한 유지 보수가 필요할 수 있지만, 알파 8S (Alpha 8S) 는 거의 제로 예방 유지 보수가 필요한 저비용입니다. 공정 챔버 (Process Chamber) 에는 고급 냉각 기능이 있어 지속적으로 높은 공정 온도를 안전하게 처리할 수 있습니다. TEL ALPHA 8 S에는 근적외선 쿼츠 히터 (near-infrared quartz heater), 효율적인 냉각 시스템, 고급 전원 공급 장치 시스템 등 최적화된 작동을 위해 필요한 모든 액세서리가 장착되어 있습니다. 이러한 구성요소는 모두 최적의 성능과 편의를 위해 통합되어 있습니다. 통합 구성 요소를 사용하면 빠르고 쉽게 액세스할 수 있습니다. 즉, 설치 시간을 최소화하고 처리량을 향상시킬 수 있습니다. TEL Alpha 8S는 또한 익스트림 온도 센서, O2 및 H2 가스 검출기, 압력 센서와 같은 고급 안전 시스템을 갖추고 있습니다. 이를 통해 운영자는 잠재적인 문제를 신속하게 파악하여 신속한 개입 (Intervention) 을 허용하고 프로세스 제어를 향상시킬 수 있습니다. 요약하면, TOKYO ELECTRON Alpha 8S는 반도체, MEMS 및 기타 마이크로 일렉트로닉스 산업의 프로토 타이핑 및 생산에 적합한 고성능, 안전하고 신뢰할 수있는 확산 로입니다. 미학, 처리 능력, 고급이지만 작동이 간편한 플랫폼은 모든 운영 환경에 적합합니다.