판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #122684

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ID: 122684
LPCVD TEOS furnace, 8", 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 반도체 및 관련 제품의 제조 프로세스에 사용되는 확산 로와 액세서리입니다. 이 용광로 는 "실리콘 '과" 게르마늄' 과 같은 재료 의 고급 연재 를 위해 특별 히 설계 되었다. 이 제품은 반도체 제조업체가 생산량 증가와 소비자의 소모량 증대, 소모량 증대 등에 대한 수요를 충족시킬 수 있게 해 주는 핵심 요소입니다 (영문). TEL ALPHA-8S는 최대 8 개의 다수의 독립적 인 난방 요소를 특징으로하는 멀티 존 퍼니스입니다. 각 요소는 최대 2000 ° C의 온도에 도달 할 수 있습니다. 또한 최대 1000kW의 매우 큰 난방 용량을 자랑합니다. 이러 한 형태 의 동력 으로, 용광로 는 신속 히 고온 에 도달 할 수 있다. 이 고출력 에는 단 몇 "kW '의 저전력 소모 도 수반 된다. 독립적 인 온도 조절 및 고급 열 관리 시스템으로 인해 TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 epitaxial deposition, 확산, 고온 annealing 및 doping과 같은 프로세스에 사용될 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S에는 여러 안전 측정이 포함되어 있으며, 프로세스 무결성 및 잠재적 위험으로부터 보호 할 수 있습니다. 용광로 내의 물질이 임계 온도 (critical temperature) 에 도달하면 사용자에게 경고하는 내장형 경보 시스템 (built-in alarm system) 이 이 중 하나입니다. 용광로 에는 또한 냉각장치 가 갖추어져 있는데, 이 "시스템 '은 용광로 온도 가 높은 압력 을 받더라도, 안전 한계 내 에 머물러 있게 해 준다. "알파 '8 S 는 압력" 센서' 를 사용 하여 약실 내부 의 압력 을 조절 할 수 있으므로 전체 과정 을 더욱 효율적 으로 수행 할 수 있다. 또한, Alpha 8S는 빠른 열 처리, 질소 처리 및 산화를 포함한 다른 여러 프로세스에 사용될 수 있습니다. 이 용광로는 또한 photomask aligner, wafer 검사 시스템 및 metrology 시스템과 같은 다른 여러 장치와 호환됩니다. 도쿄 일렉트로닉 알파 8S (TOKYO ELECTRON Alpha 8S) 는 반도체 업계에서 고품질 장치를 생산하고자 하는 모든 규모의 기업에서 사용할 수 있는 안정적이고 다용도 장비다.
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