판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #101454

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S 확산 로는 제조 산업의 산업 응용을 위해 설계된 다목적 기판 난방 시스템입니다. TEL ALPHA-8S에는 공정 챔버 (process chamber), 기판 형성에 사용되는 냉각 챔버 (cooling chamber) 및 고속 냉각에 사용되는 냉각 챔버 (cooling chamber) 의 두 가지 영역이 있습니다. 공정 챔버에는 빠르고 균일 한 기판 가열을위한 고밀도 가열 요소가 있습니다. 50 - 1200 ° C의 온도 범위는 Molybdenum-Rhodium thermocouple을 통해 안정적으로 얻어 프로세스 전체의 정밀 온도 조절을 보장합니다. 온도는 터치 패널 또는 PLC (programmable logic controller) 를 통해 제어 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 SC5 쿼츠 서셉터로 제작되었으며 최대 기판 크기는 300 x 300mm입니다. 이것은 기판 디테일을 개선하기 위해 탁월한 표면 균일성 (surface unifority) 과 균일 한 열 확산을 보장하는 한편, 열 스트레스로 인한 손상 및 왜곡을 효과적으로 방지합니다. 냉각 챔버 (cooling chamber) 에는 고급 냉각 기술이 적용되어 대형 기판에서도 빠른 냉각 속도를 제공합니다. TEL ALPHA 8 S 확산 경로는 연구, 웨이퍼 및 재료 처리, 전기 장치 등 다양한 산업에서 사용될 수 있습니다. 또한, 가스 박스, 배기 후드, 냉각수 시스템 (옵션) 과 같은 액세서리 (옵션) 를 사용하여 효율적인 온도 조정 및 가스, 연기 및 열의 정확한 분포를 제공합니다. 전반적으로, ALPHA-8S 확산 로는 산업 응용 분야를 위해 설계된 신뢰할 수있는 다용도 난방 시스템입니다. 정밀 온도 조절, 균일 한 열 확산, 고속 냉각 속도 (fast cooling rate) 를 제공하여 다양한 처리 요구에 이상적인 솔루션입니다.