판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S / 808SC #111907

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S/808SC는 얇은 필름을 반도체 웨이퍼에 증착하도록 설계된 최첨단 확산 로와 액세서리입니다. 이 장비는 최대 8 인치 직경의 웨이퍼에 걸쳐 우수한 균일성과 균일 한 온도를 제공 할 수 있습니다. TEL Alpha 8S/808SC는 최대 온도 1,200 ° C의 고급 8 구역 침수 유형 석영 튜브 확산 로를 특징으로합니다. 또한 증착 전 에 모든 형태 의 오염 물질 을 "웨이퍼 '에서 제거 하도록 설계 된 고급 청소" 시스템' 을 갖추고 있다. 이 단위는 등방성 및 이방성 에칭 기법의 조합을 사용하여 입자, 금속 및 유기 오염 물질을 제거합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8S/808SC에는 웨이퍼 로딩을 용이하게하는 로딩 로봇 2 개, 정밀 온도 제어를 보장하는 TSP (온도 센서 포트), 가스 흐름을 관리하고 정확하게 제어하는 MFC (내장 질량 흐름 컨트롤러) 등 다양한 액세서리가 포함되어 있습니다. 이 기계에는 오염 방지 및 프로세스 가스 보존을위한 로드 잠금 도구 (load lock tool) 도 포함되어 있습니다. 알파 8S/808SC (Alpha 8S/808SC) 는 미세 패턴 증착 공정을 위해 특별히 설계되었으며 50nm에서 500nm 사이의 두께를 가진 필름을 증착 할 수 있습니다. 저온, 저압 증착을 위해 설계되었으므로, 정밀도를 손상시키지 않고 필름을 증착 할 수 있습니다. 이 자산은 또한 생산성이 높아 대량 생산에 적합합니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S/808SC에는 경보/경보 기능과 GUI (Graphical User Interface) 가 장착되어 있어 운영 효율성을 높이고 프로세스 매개 변수에 대한 실시간 정보를 제공합니다. 또한 이 사용자 친화적인 GUI를 사용하면 모델을 안전하고 효율적으로 실행할 수 있습니다. 전반적으로, TEL Alpha 8S/808SC는 다른 시스템에 비해 뛰어난 성능과 뛰어난 장점을 제공하기 위해 설계된 고급 확산 로와 액세서리입니다. 고급 8 구역 쿼츠 튜브 광로, 고급 청소 장비, 온도 센서 포트, 대량 흐름 컨트롤러, 로드 잠금 시스템 및 사용자 친화적 인 GUI는 안정적이고 일관된 증착 결과와 더 큰 생산 효율성을 보장합니다.