판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SE #9050117

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SE (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SE) 는 기판 처리에서 높은 수준의 반복성과 정확성을 제공하면서 프로세스 유연성을 제공하도록 설계된 확산 로와 액세서리입니다. TEL Alpha 808SE는 난방, 반응 실 및 여러 보조 시스템으로 구성됩니다. 가열 챔버는 2 개의 내성 가열 시스템 (RHS) 과 1 쌍의 가스 분사 시스템을 사용하여 챔버 내에서 균일하게 고온 조건을 보장합니다. RHS는 온도가 매우 낮은 구배 (gradient) 로 최대 1000도까지 온도를 생산할 수있는 고성능 난방 요소를 포함합니다. 이것 은 "가스 '주사 에 의하여 더욱 강화 되는데, 그 주사 는" 노즐' 로 연결 된 다음, 증착 된 "가스 '와 용광로 의 분위기 를 혼합 하는 반응" 챔버' 에 주입 된다. 열은 난방 (heating chamber) 에서 방출되고 반응 챔버의 특수 센서에 의해 모니터링됩니다. 또한, 이 챔버에는 작업 환경의 고품질을 유지하기 위해 IEM (Inert Environment Monitor) 장비가 장착되어 있습니다. 반응 챔버 (Reaction Chamber) 에는 챔버 내의 대기를 안정화시켜 더 빠른 공정 사이클 및 에치 매개변수 (etch parameter) 에 대한 더 나은 제어를 가능하게하는 압력 제어 흐름 시스템이 포함되어 있습니다. 또한, 유동 장치는 미립자 없는 대기를 보장하기 위해 배기 기계와 쌍을 이룹니다. TOKYO ELECTRON Alpha 808SE는 로봇 기판 전사 암과 7 축 로봇 암을 포함하는 고정밀 변위 시스템을 통해 효율적인 기판 처리를 제공합니다. 고급 제어 (Advanced Control) 및 모니터링 (Monitor) 툴에 의해 제어되며 전체 자산을 정확하게 제어할 수 있습니다. 마지막으로, Alpha 808SE에는 재료 처리, 온도 컨트롤러, 데이터 로거 (Data Logger) 를 위한 컴포넌트 전달 모델 (Component Delivery Model) 을 포함한 여러 옵션 액세서리가 포함되어 있어 장비 온도, 압력 및 기타 매개변수를 기록하고 모니터링 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SE 확산 로는 고온, 균일 한 온도 분포, 광범위한 동작 제어 옵션으로 기판 처리를 위한 신뢰할 수있는 도구입니다.