판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9038744

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD는 뛰어난 열 처리 능력을 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 프로세스의 출력을 극대화하고, 안정성을 향상시키도록 설계된 여러 가지 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface), 손쉬운 작동 및 유지보수 (maintenance), 수평 및 수직 어플리케이션 모두에 뛰어난 온도의 균일성을 제공하는 수평 튜브 레이아웃 (horizontal tube layout) 이 포함됩니다. 퍼니스는 또한 '우수한 균일 솔루션 (Superior Uniformity Solution)' 을 특징으로하여 균일 성을 높여 온도 균일성 실행 시간을 줄이고 뛰어난 온도 안정성을 제공합니다. 또한 노즐 모니터 (nozzle monitor) 를 사용하여 열 처리 중에 발생할 수 있는 손상을 방지합니다. TEL 알파 808SD 확산로 (TEL Alpha 808SD) 는 열 손실을 줄이기 위한 열 단열과 핫 존과의 접촉을 최소화하기 위한 개방 도어 (opening door) 개념과 같은 다양한 안전 기능으로 설계되었습니다. 또한 독립적 인 진공 베이킹 챔버 (vacuum baking chamber) 와 2 개의 질량 흐름 컨트롤러 (mass flow controller) 가 있어 샘플의 적절한 처리를 보장합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD 확산 퍼니스는 우수한 열 처리 기능을 찾는 사용자에게 이상적인 선택입니다. 0.3-300 Torr의 넓은 동적 범위와 함께 1200-1300 '의 고온과 600-700' 의 저온이 특징입니다. 또한 공정의 균일성을 유지하면서 공정 시간 (process time) 을 줄일 수있는 빠른 냉기 냉각 기능이 있습니다. 알파 (Alpha) 는 또한 최대 300mm의 웨이퍼 직경 용량을 가지며 한 번에 최대 8 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 알파 (Alpha) 에는 데이터 로깅을 위한 고급 원격 모니터링 시스템 (Advanced Remote Monitoring System) 과 아날로그 인터페이스 (Analog Interface) 가 장착되어 있어 열 프로세스의 진행 상황과 응답성을 추적할 수 있습니다. 이 용광로 는 또한 견고 한 설계 를 갖추었으며, 견고 한 구조 와 견고 한 "구성 '이 계속 되어 있다. 직관적 인 사용자 인터페이스와 뛰어난 기능을 갖춘 TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD 확산 로는 열 처리를 통해 생산성을 극대화하는 완벽한 툴입니다. 고온 프로세스, 저온 프로세스, 넓은 다이내믹 레인지 (dynamic range) 프로세스이든, 알파 (Alpha) 는 우수한 성능과 신뢰성을 보장합니다.