판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC #9104944

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SC는 확산 용광로 및 액세서리 제품입니다. 이 제품은 고급 반도체 제조 공정의 요구를 충족시키도록 설계되었으며, 연구 개발 (Research and Development) 응용프로그램을 위해 개발되었습니다. TEL Alpha 808SC는 시장에서 가장 빠르고 정확한 용광로로 설계되었습니다. 그것은 8 인치 초고속 멀티 존 (multi-zone) 퍼니스를 특징으로하여 챔버의 모든 가열되고 냉각 된 존에서 고정밀 온도 제어를 가능하게합니다. 이 장비 에 의해 달성 된 정확 한 온도 조절 은 증착, 확산, "어닐링 ', 산화 및 기타 열 처리 에 사용 될 수 있다. 또한, 챔버에는 특수 흑연 서셉터가 장착되어 있으며, 이 서셉터는 공정의 뛰어난 균일성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SC의 압력 범위는 1-100 Torr이고 온도 범위는 30-1400 ° C입니다. 이 시스템에는 웨이퍼 (Wafer) 수송 장치가 장착되어 있어 용광로 챔버 (Furnace Chamber) 로 웨이퍼를 정밀 적재 및 언로드할 수 있습니다. 또한 감수체 (susceptor), 산화물 보호기 (oxide protector) 및 다양한 가스 정제 시스템 (gas purification system) 에 대한 온도 이상 보호와 같은 광범위한 보호 조치로 설계되었습니다. TEL ALPHA 808 SC에는 직관적 인 제어 기계도 제공됩니다. 공구 모니터링, 프로세스 제어, 프로세스 진단을 위한 호환 접근 방식으로 설계되었습니다. 이 자산은 실시간 모델 정보 (real-time model information) 를 제공하여 프로세스 흐름을 완벽하게 제어하여 최상의 프로세스 결과를 보장합니다. 또한 제어 장비는 매우 사용자 친화적입니다. 알파 808 SC (ALPHA 808 SC) 는 소형이며 공간 절약이 가능하며, 다양한 중소형 실험실 및 연구 센터에 적합합니다. 또한 유지 보수 및 진단 시스템 (Maintenance and Diagnostics System) 을 통해 운영 상태 정보를 빠르고 쉽게 액세스할 수 있습니다. 결론적으로, TOKYO ELECTRON Alpha 808SC는 현대 반도체 제조 시설에 적합한 강력하고, 정확하며, 다재다능한 확산 로와 액세서리 솔루션입니다.