판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808S #111057

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808S는 우수한 진공 조건과 대량 확산에 대한 정확한 온도 제어를 제공하는 확산 로와 액세서리입니다. 이 엔터프라이즈 모델에는 4 개의 통합 확산 프로세스 (unified diffusion process) 영역 (zone) 과 각 응용 프로그램에 이상적인 열 프로세스를 만드는 다양한 매개변수 (parameter) 가 있습니다. 이 장비는 고성능, 다기능 컨트롤러로 구동되며 직관적인 작동 및 모니터링을 위해 7 인치 컬러 터치 디스플레이 (Color Touch Display) 를 제공합니다. TEL 알파 808S (Alpha 808S) 는 쿼츠 튜브 (Quartz Tube) 와 세라믹 보드 (Ceramic Board) 를 포함한 다양한 구성 요소가 설치되어 있어 고정밀 확산 프로세스를 실행하는 데 적합합니다. 또한 가스 흐름 컨트롤러 (gas flow controller) 가 장착되어 있어 프로세스 가스를 제어하고 제품 수율을 극대화하는 데 매우 효율적입니다. 독자적 인 고급 열 절연 (A.T.I.) 기술과 우수한 열 전도를 통해 TOKYO ELECTRON Alpha 808S는 전체 확산 챔버 전체에서 엄청나게 균일 한 온도를 유지하면서 안전하고 에너지 효율적인 작동을 제공합니다. 또한, Alpha 808S는 뛰어난 프로세스 기능과 뛰어난 온수 성능을 위해 고온/고압 균일성을 제공하는 베벨 슬릿 (bevel-slit) 형 전자 링을 특징으로합니다. 또한, 각 특정 적용에 대해 매우 정확하고, 정확하고, 반복 가능한 용광로 조건을 생성하는 균일 한 가스 확산에 대한 저온 가스 분사 시스템을 사용합니다. 게다가 안전 증대 안전 커버 (Safety Cover) 와 비례 제어 장치 (Proportional Control Unit) 가 장착되어 최소한의 프로세스 드리프트로 최대 반복성을 제공합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808S는 다양한 응용 프로그램을 충족하는 뛰어난 확산 용광로 기계입니다. 정확한 온도 조절, 고성능 컨트롤러 및 고급 A.T.I. 기술은 정확하고 반복 가능한 확산 프로세스를 보장하는 반면, 저온 가스 분사 도구 및 베벨 슬릿 (bevel-slit) 형 전자 링은 탁월한 프로세스 기능과 웨이퍼 성능을 제공합니다. 직관적인 컬러 터치 디스플레이와 다양한 구성 요소를 갖춘 TEL 알파 808S (TEL Alpha 808S) 는 대량 확산 요구에 적합합니다.