판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805 #47547

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805
판매
ID: 47547
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
oxidation furnace, 8", as is, 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805 확산 로는 마이크로 전자 부품 생산에 사용하도록 설계된 고급 처리 장치입니다. 가장 섬세한 재료를 처리하여 열, 에칭, 증착 (deposition) 분야에서 탁월한 성능을 제공합니다. 이 장치에는 확산 프로세스를 제어, 최적화, 모니터링하는 데 가장 유연하게 사용할 수 있는 다양한 기능과 액세서리가 있습니다 (영문). TEL Alpha 805 확산 로에는 단일 웨이퍼 로딩 챔버, 수직 위치 서셉터, 균일 한 가스 흐름 분포 및 고속 산화를 갖춘 고급 디자인이 있습니다. 이 디자인은 균일 한 온도 조절, 효율적인 에칭 프로세스, 강력한 산화 성능을 보장합니다. 균일 한 "가스 '흐름 은" 마이크로' 전자 성분 을 성공적 으로 생산 하는 데 중요 한 정확 한 온도 조절 을 보장 한다. 또한 몇 가지 조정 가능한 매개 변수가 있으며, 각 응용 프로그램의 정확한 요구 사항을 충족시키기 위해 확산 프로세스 (diffusion process) 를 세밀하게 조정하는 데 사용할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 805에는 다양한 고급 액세서리 스토 (accessoriesto) 가 제공되어 확산 프로세스를 최대한 유연하고 제어할 수 있습니다. 여기에는 통합 진공 시스템 (Integrated Vacuum System), 옵션 가스 전달 시스템 (Gas Delivery System), 프로세스 환경을 정확하게 제어할 수 있는 다양한 센서 및 모니터가 포함됩니다. 이러한 액세서리를 사용하면 확산 프로세스를 제어, 최적화, 모니터링하는 데 매우 정밀하게 사용할 수 있습니다. 알파 805 (Alpha 805) 확산 퍼니스는 또한 확산 프로세스를 제어, 모니터링 및 최적화하는 데 사용되는 일련의 모듈식 스크린이있는 직관적 인 사용자 인터페이스를 갖추고 있습니다. 이 GUI (Graphical User Interface) 는 간단하고 사용하기 쉽도록 설계되었으며, 전문 프로그래밍 전문 기술 없이도 프로세스를 빠르고 직관적으로 조정할 수 있습니다. 또한, 기술 문제가 발생할 경우 온라인 고객 지원 (customer support) 플랫폼에 액세스할 수 있습니다. 마지막으로, TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805는 고급 통합 스크립트 기반 소프트웨어 및 하드웨어 시스템으로 완전히 자동화되었습니다. 이는 최고 수준의 처리 세부 (processing detail) 에서도 안정적으로 확산 프로세스를 보장합니다. 요약하면, TEL Alpha 805 확산 로와 액세서리는 마이크로 일렉트로닉스 구성 요소 생산을위한 열, 에칭 및 증착 프로세스를 위해 고급, 고정밀 플랫폼을 제공합니다. 단일 웨이퍼 설계, 조정 가능한 매개변수, 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스 및 모듈식 자동화 솔루션은 신뢰할 수 있는 고정밀 확산 프로세스를 보장합니다.
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