판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805 #191404

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805는 반도체 처리에 사용되는 확산 로입니다. 이 고급 실험실 등급 퍼니스는 RTA (Rapid Thermal Annealing), 트랜지스터 제작 및 고온 확산 등 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 용광로는 최대 210kw (kiloWatt) 의 최대 가열 전력도 공급할 수 있습니다. 이 퍼니스에는 모든 스테인레스 스틸 인테리어가 있으며, 이는 8 "라운드 핫 존으로 구성됩니다. 이것은 균일 한 처리 결과를 위해 균일 한 온도 분포를 보장하기 위해 흑연 절연체와 결합됩니다. 또한, 용광로는 빠른 열 처리를 위해 최대 1250 ° C, 확산 처리를 위해 최대 950 ° C의 온도에 도달 할 수 있습니다. TEL Alpha 805는 또한 +/-0.2 ° C의 안정성으로 정확한 온도 조절을 제공합니다. 480V/3Phase/60Hz AC 전원 연결을 통해 용광로에 전원이 공급됩니다. 용광로의 높은 전력 요구 사항으로 인해 안정된 처리를 위해 정확하고 안정적인 제어를 제공하는 3 상 VFD (Variable Frequency Drive) 가 장착되어 있습니다. 용광로는 독립형 또는 컴퓨터 제어 모드로 작동 할 수도 있습니다. 직관적인 다국어 터치스크린 인터페이스로, 시스템에 추가적인 편의성, 사용자 친화성을 더할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 805는 또한 열 차단 스위치 및 산소 모니터, 20mbar (milliBar), 최대 0.5 Pascal Vacuum을 갖춘 30 단계 고압 진공 시스템을 포함한 뛰어난 안전 기능을 제공합니다. 또한, 통합, 완전 개폐식 카세트 로드 잠금 시스템은 쉽게 액세스 및 샘플 로딩을 가능하게합니다. 안정적이고 효율적인 웨이퍼 레벨 처리 결과를 위해 Alpha 805는 훌륭한 옵션입니다. 직관적 인 사용자 컨트롤, 정확한 온도 조절, 높은 정확도, 안전 기능으로 인해 최신 반도체 연구소에 이상적인 확산 로가 됩니다.