판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #148297

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
판매
ID: 148297
웨이퍼 크기: 12"
Furnaces, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i는 반도체 웨이퍼 및 기타 섬세한 재료의 대량 생산을위한 확산 로와 액세서리 시스템입니다. 업계에서 가장 고급적이고 신뢰할 수있는 시스템 중 하나입니다. 특허 출원 중인 챔버 모양과 최적의 웨이퍼 균일성 (Wafer Unifority) 및 높은 수율을 위한 최첨단 난방 기능이 특징입니다. TEL ALPHA-303I는 뛰어난 정확성과 반복성으로 빠른 처리 시간을 제공합니다. 추가적인 이점으로서, 사용하기 쉽고 유지 관리가 용이합니다. 도쿄 전자 알파 -303 (TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I) 은 챔버를 빨리 식히고 말리는 인챔버 열 건조기 및 퀸치 시스템 (quench system) 을 포함하여 다양한 안전 및 편의 기능을 갖추고 있습니다. 또한 원격 액세스 및 제어를 위해 설계된 직관적인 디스플레이 화면이 있습니다. 완전 자동 프로파일 제어 (Fully Automated Profile Control) 시스템을 사용하면 자동으로 조정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303I 확산 로는 유연성과 효율성을 고려하여 설계되었습니다. 모듈식 설계를 통해 맞춤형 구성 및 업그레이드가 가능합니다. 고급 전력 관리를 통해 에너지 전송 및 정확한 가스 흐름 제어를 효율적으로 수행할 수 있습니다. 알파 303i 확산 로에는 UHF (Ultra-High Frequency) 가열이 장착되어 있어 가열이 빠르고 열 사이클링이 빠릅니다. UHF 코일은 강력한 니크롬 와이어 (nichrome wire) 로 구성되어 있으며, 최대 웨이퍼 균일성을 위해 높은 열 감도와 매우 긴 난방 수명을 갖추고 있습니다. UHF는 또한 매우 효율적이며, 기존 전기로보다 최대 10 배 적은 전력을 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I는 또한 제품의 품질을 정확하게 제어하는 고급 제어 기술을 갖추고 있습니다. 저항성 피로미터 (resistive pyrometer) 와 촉매 피로미터 (catalytic pyrometer) 를 포함한 다양한 센서가 용광로 온도의 정확한 모니터링을 가능하게합니다. 내장 PID (비례/통합/파생) 컨트롤러는 부드럽고 일관된 제조 프로세스를 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I는 빠르고, 안정적이며, 비용 효율적인 확산 광로 및 액세서리 서비스를 제공하도록 설계되었습니다. 탁월한 구성, 고급 제어 (Advanced Control) 기능, 사용자 친화적 설계를 통해 모든 고객의 대량 생산 요구 사항을 완벽하게 선택할 수 있습니다.
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