판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9047511

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE는 최첨단 확산 로와 반도체 집적 회로 제작 과정에서 사용되는 관련 액세서리입니다. TEL ALPHA-8SE는 최대 공정 온도가 1000 ° C인 단일 웨이퍼 배치 형 확산 용광로이며, 뛰어난 균일 성 및 장치 성능을위한 저상 파 플라즈마 강화 CVD (Chemical Vapor Deposition) 프로세스를 갖추고 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE는 열 산화, 열 질소 화 및 화학 증착 (CVD) 의 3 가지 다른 모드로 작동 할 수있는 닫힌 원통형 합금 챔버입니다. 각 모드는 가스 압력, 온도, 유속 (flow rate) 을 포함한 포괄적인 매개변수 세트로 제어됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE에는 듀얼 앵글 사이클 프로세스 컨트롤 (Dual Angle-Cycle Process Control) 이라는 고유 한 기능이 있으며, 이를 통해 사용자는 프로세스 사이클 전반에 걸쳐 각도를 서로 바꿔 더 균일 한 레이어 온 웨이퍼 성능을 얻을 수 있습니다. ALPHA-8SE는 저온 몰리브덴 서셉터와 고온 쿼츠 서셉터를 모두 사용합니다. 몰리브덴 서셉터 (molybdenum susceptor) 는 짧은 공정 주기에 사용되며 뛰어난 균일성과 낮은 배경 왜곡을 위해 설계되었습니다. 고온 석영 서셉터는 긴 공정 주기에 사용되며, 최대 1000 ° C의 온도를 안전하게 수용 할 수 있습니다. 알파 -8 SE (ALPHA-8 SE) 는 과열 방지, 수증기를 감지하는 습도 센서, 낮은 공정 압력을 감지하는 압력 센서 등을 포함한 여러 가지 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한 최고의 환경 보호를 위해 최첨단 입자 필터링 및 스크러빙 시스템을 갖추고 있습니다. 최적의 성능과 안정성을 보장하기 위해 ALPHA 8 SE 는 2 개의 현지화된 공정 온도 컨트롤러, 2 개의 극저온 송풍기 컨트롤러, 2 개의 송풍기 속도 컨트롤러를 포함하는 종합적인 온도 컨트롤러 시스템을 갖추고 있습니다. 따라서 용광로의 여러 영역을 독립적으로 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 용광로에는 뛰어난 균일성과 뛰어난 입자 성능을 제공하는 2 개의 할로겐 램프가 장착되어 있습니다. TEL ALPHA 8 SE는 반도체 프로세싱 요구를 충족하는 포괄적인 솔루션으로, 사용자에게 뛰어난 성능, 안정성, 안전성을 제공합니다. 독보적인 기능 및 액세서리는 뛰어난 열 처리 및 CVD 성능을 제공하여 뛰어난 장치 성능과 균일성을 보장합니다.