판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #116227
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판매
ID: 116227
VF LPCVD ASG furnace
SMIF Type: Asyst
SMIF indexer: 2
Cassette transfer: cassette transfer
Wafer transfer stage : 2 stage
Cassette stock: Stocker(21)
Boat process: one boat 2 batch process
Wafer transfer: FORK(5)
Process reactor: one reactor one system
Heater: Five zones
Boat position: cooling, process and loading position
TC position:
Paddle TC: Between outer and inner tube
Spike TC: on heater
Injector:
ASP: 6 injectors
ASG: 5 injectors
Process gas:
ASP: N2/SiH4/H2/0.7%AsH3/ClF3
ASG: N2/O2/TEOS/Teasat/ClF3
MFC: UNIT
Boat material:
ASP: SIC
ASG: Quartz
Boat slot:
ASP: 170
ASG: 129
Process tube: Quartz
Outer tube: Quartz
Inner tube: Quartz
CLF3 dry clean: Yes
PUMP: EDWARDS/EBARA
System controller: WAVES
Powered down.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE는 반도체 장치의 성장에 사용되는 첨단 확산 로와 액세서리입니다. 이 장비는 현대 전자 제품 제조 (electronics manufacturing) 의 엄격한 요구를 충족시키기 위해 반도체 층을 기판으로 빠르고 정확하게 성장시킬 수 있습니다. TEL ALPHA-8SE에는 고급 복사 가열 메커니즘을 통합 한 최첨단 선박이 장착되어 있습니다. 이 선박 은 "가스 '의 균일 한 가열 을 허용 하며, 반도체 의 최적 인 성장 환경 을 조성 하는 데 강력 히 도움 이 된다. 이 기능은 갈륨 비소 및 인화 인듐과 같은 III-V 물질의 성장에 특히 유용합니다. 고급 선박 외에도 TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE는 고유하고 완전 자동화 된 제어 시스템을 구현합니다. 이 단위는 정밀한 온도 조절뿐만 아니라 프로세스 시간, 가스 흐름 및 기타 조건에 대한 제어를 제공합니다. 또한, 이 기계는 성장 환경의 온도 (temperation) 와 구성 (composition) 을 모두 제어하는 고급 기능을 갖추고 있으며, 특정 성장 프로세스의 요구 사항에 맞게 전체 사용자 정의를 수행할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E에는 손쉬운 운영 및 데이터 획득을위한 터치 스크린 인터페이스도 제공됩니다. 이를 통해 사용자는 성장 과정에서 성장 환경을 정확하게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 그래픽 디스플레이 (graphics display) 는 성장 과정에서 다양한 매개변수를 시각적으로 표시함으로써 공구의 유용성을 더욱 향상시킵니다. 결론적으로, ALPHA 8 SE는 매우 발전된 확산 로와 액세서리 자산입니다. 선진국 선박과 전자동 (Full Automation) 기능을 통해 성장 환경을 정확하게 제어하여 반도체의 최적의 성장을 보장합니다. 터치스크린 인터페이스 (Touchscreen Interface) 와 그래픽 디스플레이 (Graphics Display) 는 사용자 환경을 더욱 향상시켜 운영자가 성장 과정에서 쉽게 모델을 모니터링하고 제어할 수 있도록 합니다.
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