익숙한 TEL ALPHA 8S 판매용

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ID#: 62757 제조사: TEL 모델: ALPHA 8S 범주: DIFFUSION FURNACES & ACCESSORIES 장비 세부 정보: Diffusion doped poly furnaces, 8" LPCVD Phosphorus Doped Poly process configuration 150 production wafer load size TS4000Z system controller 440 V power requirement Boat rotation Tape heater and associated control Remote gas detection Exhaust monitors Tylan General throttle control Ulvac GP-2ARY vacuum monitor Gas System UHP N2 2x N2 10%Ph3/He SiH4 ClF3 1997 vintage.
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