판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #190957

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 반도체 제조에 사용되는 확산 용광로 및 액세서리입니다. 증기 상 에피 택시 (VPE), 선택적 열 산화, 질화 실리콘 증착을 수행하고 LED 변환 프로세스를 자동화 할 수 있습니다. 정밀한 온도 조절 및 균일 한 웨이퍼 처리를 위해 통합 된 컴퓨터 제어 시스템을 갖춘 사용이 간편한 자동 로더 (automated loader) 를 갖추고 있습니다. 텔 알파 -8S (TEL ALPHA-8S) 는 섭씨 1250도의 표준 고온 제한과 다중 영역 온도 조절 시스템을 통해 여러 지역에 걸쳐 온도를 조절합니다. 첨단 에너지 절약 설계 및 최첨단 핫 존 (Hot Zone) 재질은 높은 열 성능과 더 높은 프로세스 균일성을 보장합니다. 공기 베어링 스핀들 드라이브 (spindle drive) 와 딥 포인트 척 (deep-point chuck) 은 정확한 기판 위치화와 사용 편의성을 보장합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 또한 이중 6.5 인치 모니터와 프로세스 매개 변수를 쉽게 모니터링하기 위해 확대 가능한 GUI를 포함하여 디스플레이 도구 배열을 갖춘 직관적인 HMI (Human-Machine Interface) 를 갖추고 있습니다. 다른 기능으로는 LPH (Line and Point Heat) 처리 응용 프로그램의 다중 열 제어 및 비정상적인 사용으로 인한 증착 품질 저하 예방을위한 원격 유지 관리 (Remote Maintenance) 가 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S) 는 고급 기술 및 독점 소프트웨어를 사용하여 제품의 품질을 극대화하면서 프로세스 최적화 및 수율 제어를 위한 효율성, 비용 절감, 최적의 성능을 제공합니다. 반응성이 낮은 알루미늄 합금 챔버 (aluminum alloy chamber) 와 균일 한 와전류 (eddy current) 및 공랭식 차폐는 긴 사이클링 작업에 이상적입니다. 가격 경쟁력이 뛰어난 TEL 자동 기판 로더와 결합된 ALPHA-8S 는 노드 밸런싱 (Node Balancing) 환경을 위한 통합 제어 시스템을 제공하여 최적의 프로세스 성능을 제공합니다.