판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #155754
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판매
ID: 155754
Furnace, 8"
Process: Poly
Safety specification: TEL Standard
System paint color: Biege white
System power rating:
AC200V, 3P / AC100V, 1P
Loading configuration:
(4) Loaders / (127) Wafer slots
Process pressure (Torr): Low pressure
Process temperature: 600º C
FTP Heater: Installed
Rapid cooling unit: Installed
Heater type: VOS-40-017
Process gases:
Process gas MFC 1,2,3,4: N2
Process gas MFC 5, 6: SiH4
Process gas MFC 7, 8, 9: PH3
Gas system:
Filter: MOTT Pou-20S-SV2, Ni
Air valve: FUJIKIN: Diaphragm type
Mega-mini and block
MFC: STEC SEC-74 Series
Check valve: FUJIKIN O-Ring seal type
Hand valve: FUJIKIN: Diaphragm type
Regulator: VERIFLO SQ Series
Pressure transducer: NAGANO ZT 17
Others:
Joint: Gasket type: Pure nickel type
Piping material: SUS316L Up tube
Piping working method: Welding
Welding methods: Automatic welding
Gas exhaust system:
Dry pump: EBARA A150W-T
Main valve: MKS 172-1080P
Vacuum gauge: MKS Baratron sensor normal type
Joint:
Gasket
JIS Method
Piping material: SUS316BA, stainless steel
APC: MKS 253B-3-80-2, butterfly valve
VG1: 0 to 10 Torr, Normal type
VG2: 0 to 1000 Torr, Normal type
VG3: ULVAC GP-2A, Pirani gauge
Manifold:
Structure:
Sealing method: End point sealing
Material: SUS316L Stainless steel
Port:
Gas port: 3/8" Ultra torr
Inner T/C port: 20DAI Ultra torr
Exhaust port: 3 DIA
Cooling method: Water cooling
Safety Interlock:
Gas flow low MFC:
Too low gas flow
Alarm: > 5%
Abort: ± 10%
Gas flow high MFC:
Too high gas flow
Alarm: > 5%
Abort: ± 10%
Low PCW flow:
No PCW supply
Alarm: > 3min
Abort: > 5min
Heater break down: > 7min
PCW Leak detection: Alarm
Process heater over temperature:
Chamber over heat
Heater break down: > 3 sec
Furnace area over temperature: Alarm
Heater break down: > 3 sec
SCR Area over temperature: Alarm
Heater break down: > 3 sec
Interruption of electric power: Alarm
Abort: < 3 sec
Heater break down: > 3 sec
Gas flow sequence: Alarm
Pump off: Alarm
Pump trouble: Alarm
Pressure low (reactor tube pressure): Alarm
Pressure high (reactor tube pressure): Alarm
Leak check (reactor tube pressure):
Main valve off delay: 10 min
Abort: > 20mTorr
Currently warehoused
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 반도체 웨이퍼의 혁신적인 난방, 추출 및 열 처리를 통해 반도체 프로세스를 최적화하고 정제하도록 설계된 확산 로입니다. 첨단 열 제어 장비 (Advanced Thermal Control Equipment) 를 통해 전체 프로세스의 높은 정밀 온도 제어를 통해 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. TEL ALPHA-8S는 저온 스캔 및 "절전 (Power Save)" 기능을 제공하여 최적의 솔더 결합 프로세스와 배리어 필름 코팅 프로세스를 안전하고 안정적으로 만듭니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S에는 방출 방지 처리를 위해 구성 할 수있는 고성능 배기 추출 시스템이 장착되어 있습니다. 최대 온도가 1920 ° C 인 2 개의 전기 열 히터 (Electro-Thermal Heater) 를 갖추고 있으며, 일관된 결과를 얻어 음반 및 열 처리 샘플에 효율적이고 안전한 방법을 갖추고 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S에는 연속 AUTO PECVD가 추가로 장착되어 있으며, 플레넘 가스 믹서는 빠르고 쉬운 유닛 유지 보수가 가능합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8S는 직관적이고 사용자 친화적 인 완전 자동화 기계입니다. 강력한 디자인에는 향상된 프로그래밍성, 강력한 하드웨어 제어, 사용자 정의 경보 (alarm) 및 프로그램 시퀀스 설정 등의 기능이 포함됩니다. 이 툴은 확장이 가능하므로, 사용자가 시간이 지남에 따라 구성 요소를 추가하고, 업그레이드할 수 있습니다. TEL Alpha 8S에는 안전하고 번거로운 경험을 보장하는 여러 액세서리가 추가로 장착되어 있습니다. 이러한 액세서리에는 가능한 오염을 방지하는 고급 필터 자산이 포함됩니다. 진공 밀봉 기능을 통해 효율적이고 반복 가능한 프로세스와 고성능 열 브레이크 스토커 (thermal break stoker) 모델을 통해 샘플 전체에서 균일성을 보장합니다. 마지막으로 PC 제어 모드 (옵션) 를 사용하면 데이터와 프로그램 설정에 쉽게 액세스하고 관리할 수 있습니다. 알파 8 S (ALPHA 8 S) 는 매우 효율적이고 효율적인 확산 로로, 최적 효율의 반도체 프로세스를 보장하기 위해 고급 기능과 액세서리가 장착되어 있습니다. 혁신적인 디자인과 특징으로이 솔루션은 복잡하고 정밀한 열 처리, 어닐링 (annealing), 코팅 프로세스 (coating process) 에 이상적입니다.
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