판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #104721
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판매
ID: 104721
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1994
High-temp furnace, 8"
Process: Oxide
8 cassette stockers
Frequency 60 Interface.-Cassette ¡V 8"-Phase -3 Voltage, 208V
Facilities entry at bottom
Wide Body style, Right sided
Brooks 5964 MFCs
MFC 7 HCl 1 slm
MFC 6 O2 1 slm
MFC 5 O2 20 slm
MFC 4 H2 10 slm
MFC 3 Ar 20 slm
MFC 2 N2 5 slm
MFC 1 N2 20 slm
TS-4000SZ Furnace controller
Varian TEL LR300 Temperature controller
AP Tech O2 and H2 flow switches
HEL Pyro Control
Touch screen operator interface
Load Size 100 wafers-(upgradeable 150)
1200 C Heater Core
Lip Seal, Inner T/C, Linear aligner UP/DOWWN axis slide motions
No variable pitch. Single or five (5) wafers
Boat, CLN ON 07-00202
Cover, Pedestal 07-00204
Pedestal 07-00205
PFA tube (6.35x4.35x1.0T) 06-22014-00-16 inch process Tube
Rapid Cooling
System power rating: 3 Phase, 208 V, 60 Hz
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 멀티 존 확산 로와 반도체 처리에 주로 사용되는 액세서리입니다. 용광로는 수평 지향, PC 제어 용광로로 내부 공정 챔버와 외부 쉘로 구성됩니다. TEL ALPHA-8S는 가공소재, 기판 및 다이와 같은 소규모 샘플을 최대 크기 25mm x 25mm x 10mm로 처리 할 수 있습니다. 공정 챔버는 알루미늄 합금으로 구성되며 내부 부피는 640x550x3.5mm (L × W × H) 입니다. 난방 지대 (heating zone) 는 최적화 된 균일성을 위해 온도를 조절하기 위해 상단 및 하단 팬이있는 최대 6 개의 난방 스테이션으로 구성됩니다. 가열 요소는 최대 전력 등급이 4kW 인 Kanthal 유형을 사용합니다. 용광로에는 2 개의 독립적 인 온도 조절 시스템이 장착되어 있습니다. 하나는 정상 상태 온도에, 다른 하나는 빠른 열 경사 또는 냉각에 사용됩니다. 온도 정확도는 정상 상태에서 ± 1 ° C, 빠른 열 램프에서 ± 3 ° C입니다. 온도가 200 ° C (392 ° F) 로 증가 할 때에도 정확도를 유지할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S 프로세스는 고속 데이터 획득 및 디스플레이를 허용하는 하이엔드 PC 컨트롤러에 의해 제어됩니다. 데이터 입수는 여러 가지 레시피 및 매개 변수 세트를 통해 안정적이고 지능적입니다. 정교한 사용자 인터페이스/운영 메뉴를 제공하며, 빠르고 쉽게 작업할 수 있도록 최적화되어 있습니다. TEL ALPHA-8 S를 사용하여 금, 구리, 알루미늄 및 주석과 같은 다른 재료를 처리 할 수 있습니다. 알파-8 S (ALPHA-8 S) 의 확산 프로세스는 특정 프로세스의 요구 사항에 따라 사용자 정의 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S 시스템의 액세서리에는 수동으로 테스트 된 가스 흐름 미터, 가스 축적기, 열 절연 덮개, 가스 흐름 조절기, 가스 압력 스위치 및 퍼지 가스 병이 포함됩니다. 결론적으로, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 작은 샘플을위한 알루미늄 합금 내부가있는 다중 구역 확산 퍼니스입니다. 2 개의 독립적 인 온도 조절 시스템, 균일 한 온도 조절을위한 조정 가능한 팬, 데이터 획득 및 디스플레이를위한 고성능 PC 컨트롤러, 다양한 맞춤형 프로세스가 있습니다. 또한 액세서리는 ALPHA 8 S의 성능을 극대화하고 반도체 공구 처리에 이상적인 선택이 됩니다.
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