판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SCN #9097244

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SCN
판매
ID: 9097244
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
Nitride furnace, 8", 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SCN은 반도체 장치 제조를위한 확산 용광로 및 액세서리입니다. TEL Alpha 808SCN은 반도체 장치 제작 프로세스에 대한 뛰어난 정확성과 제어를 제공합니다. 실리콘 온 인슐레이터 (SOI) 및 MEMS 장치와 같은 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 도쿄 전자 알파 808SCN (TOKYO ELECTRON Alpha 808SCN) 은 수평 온도확산로로 설계되어 다양한 프로세스 온도 및 사이클 시간을 허용합니다. RF 필드의 간섭을 줄일 수있는 토착 개발 된 최첨단 RF 구동, 고순도 석영 서셉터가 장착되어 있습니다. 이 기능 은 강력 한 "서셉터 '온도 조절 기술 과 더불어 빠르고 정확 한" 웨이퍼' 처리 를 가능 케 한다. 첨단 확산 기술을 통해 단일 챔버에서 다중 계층 처리 (multi-layer processing) 및 고가용성 (high-aspect ratio) 처리가 가능합니다. 알파 808SCN (Alpha 808SCN) 에는 전체 챔버에 대해 미세한 온도 조절을 제공하는 고급 온도 제어 시스템 (Advanced Temperature Control System) 이 장착되어 있어 최고의 정확성을 제공합니다. 온도 프로파일 (temperature profile) 은 원자로에서 조정할 수 있으므로 전체 영역에 대한 정확한 온도 조절이 가능합니다. 또한, 통합 가스 흐름 시스템은 반응 환경을 통제하고 프로세스를 최적화하기 위해 설치됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SCN은 편리하고 사용하기 쉬운 소프트웨어 및 운영 도구도 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어는 원격지에서 확산 광로 (diffusion fornace) 작동을 가능하게 하며, 자동화된 전기 성능 테스트 (electrical performance test) 와 프로세스에 대한 온라인 모니터링 기능을 제공합니다. 이 소프트웨어는 다양한 TEL 확산 용광로를 모니터링 및 작동하도록 설계된 소프트웨어 플랫폼 인 TELware에 통합될 수도 있습니다. TEL 알파 808SCN (Alpha 808SCN) 은 반도체 업계에서 가장 뛰어난 확산 용광로 및 액세서리 중 하나로 손꼽히는데, 이는 탁월한 사용 편의성을 갖춘 고정밀 성능을 제공합니다. 정교 한 "소프트웨어 '의 도움 을 받아, 용광로 는 단일" 버튼' 으로 작동 할 수 있으며, 이전 어느 때 보다도 더 빠르고 쉽게 작동 할 수 있다. 또한, 고급 온도 및 반응 제어 시스템 (Advanced Temperature and Reaction Control System) 은 어떤 과정이 적용되었든 정확하고 신뢰할 수있는 반도체 장치를 초래할 수 있음을 보장합니다.
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