판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #101184

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ID: 101184
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
LPCVD Nitride Furnace, 12" Dual FOUP WAVES Controller UP box Boat elevator with tube shutter Cassette load automation Boat rotation Gasses Dichlorsilane (DCS) NH3 N2 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i는 확산 로이자 반도체 제조를위한 액세서리입니다. 이 고급 자동화 도구 (Advanced Automation Tool) 는 반도체 에치 (Etch) 프로세스를 개선하기 위해 설계되었으며 전 세계 연구 및 생산 시설에 사용됩니다. TEL ALPHA-303I는 정확한 제어로 빠르게 가열하고 식힐 수 있습니다. 또한 빠른 가스 흐름 속도, 온도 및 압력 변화가 가능합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I는 확산 로, 회전 및 선형 동작을위한 회전 드라이브, 방향 잠금 장치 및 사용자 인터페이스가있는 컨트롤러로 구성됩니다. 확산 용광로는 여러 가열 영역과 온도/냉각 장치로 구성됩니다. 온도/냉각 장치 (temperature/cooling unit) 는 디지털 방식으로 제어되는 열 환경으로, 용광로 및 해당 컴포넌트의 온도를 정확하게 제어하는 데 사용됩니다. 방향성 잠금 장치 (directional lock) 는 기계적 느슨함을 없애고 보다 안정적인 심층 프로파일 에칭을 제공 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I에는 사용자 인터페이스가 있는 컨트롤러도 있습니다. 이 인터페이스를 사용하면 사용자가 매개 변수를 입력하고 디바이스의 진행 상황을 모니터링할 수 있습니다. 예를 들어, 사용자는 에칭 프로세스 전, 중, 후에 온도, 압력, 가스 흐름 속도 및 기타 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. 또한, 컨트롤러에는 안정적이고, 반복 가능하며, 재현 가능한 방식으로 장치가 작동하도록 하는 안전 기능이 내장되어 있습니다. 부드러운 동적 성능을 보장하기 위해 TEL ALPHA 303 I에는 여러 기능이 있습니다. 이러한 기능에는 빠른 가열 및 냉각을위한 셔틀 시스템, 빠른 온도 변화를위한 헬륨 보조 기능, 균일 한 가공 기판을위한 고급 재순환 시스템, 쉬운 질소 흐름을위한 액체 질소 총 (liquid nitrogen gun) 이 포함됩니다. 이 고급 확산로 (Advanced Diffusion Furnace) 는 연구 및 생산 시설에서 발견되는 고급 장비에 사용하도록 설계되었습니다. 향상된 안전 기능과 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 을 갖춘 ALPHA-303I는 에칭 프로세스를 개선하기위한 강력한 도구입니다. 이 툴은 다양한 애플리케이션에 적합하며, 정확성과 생산속도를 향상시키는 데 가장 적합한 툴입니다 (영문).
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