판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9033394

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SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
판매
ID: 9033394
Vertical TEOS furnace.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000은 높은 처리량 알루미늄 질화물, 실리콘 질화물 및 갈륨 인화물 제조를 위해 설계된 고급 확산 로와 액세서리 장비입니다. 이 시스템은 생산성과 효율성을 높이기 위해 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 강력한 확산 챔버 및 액세서리를 갖춘 SVG VTR 7000은 고온 박막 처리를 위한 완벽한 솔루션을 제공합니다. 이 장치는 내구성이 뛰어난 AVIZA VTR 7000 확산 로와 3 가지 필수 액세서리 (에퓨전 셀 및 진공, 전력 및 가스 매니 폴드) 로 구성됩니다. 이큐전 셀 (effusion cell) 은 균일 한 박막의 성장을 가능하게하도록 설계되었으며 다양한 에피 택셜 성장 파라미터 (epitaxial growth parameters) 에 맞게 조정가능하다. 또한, 셀에는 온도 조절을 강화하기위한 고급 난방 및 냉각기가 있습니다. THERMCO VTR 7000 도구에는 이상적인 '클린 룸' 확산 환경을 제공하기 위해 정밀 진공, 전력 및 가스 매니 폴드 구성 요소도 포함됩니다. 모든 요소는 고급 인코넬 (Inconel) 에서 제작되었으며 극한의 온도와 공격적인 대기에서 장기적인 사용을 위해 설계되었습니다. VTR 7000에는 전체 확산 과정에서 온도, 압력, 플럭스 (flux) 상태를 매우 정확하게 제어 할 수있는 고급 컴퓨터 제어 자산이 포함되어 있습니다. 사용자 친화적인 모델을 사용하면 확산 매개변수의 빠른 설정, 데이터 추적, 로깅을 수행할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 강력한 소프트웨어 애플리케이션 패키지와 통합되어 최적화된 프로세스를 위한 신속한 레시피 (recipe) 개발을 가능하게 합니다. 이 시스템은 또한 신뢰성이 높은 전원 공급 장치 (power supply unit) 를 포함하고 있으며, 다양한 전류 및 전압 요구를 처리할 수 있습니다. 이 기계는 다양한 열전대 및 히터 설계 구성을 지원하므로 온도 조절이 정확합니다. 게다가, 이 도구 는 방열 자산 이 크므로, 일관성 있는 처리 를 위한 뛰어난 냉각 효율성 을 제공 한다. SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 확산 모델 및 액세서리 구성 요소는 고급 박막 처리를 위한 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 조정 가능한 효능 셀 난방 및 냉각, 정밀 매니 폴드 구성 요소, 통합 전원 공급 장치 및 온도 조절 시스템을 제공함으로써 SVG VTR 7000 (VTR 7000) 은 효율적인 처리를 위한 안정적인 솔루션을 제공합니다. 고급 컴퓨터 제어 장비 (Advanced Computer Control Equipment) 를 사용하면 높은 처리량을 위해 최적화된 레시피를 쉽게 개발하고 반복 가능한 결과를 위해 확산 매개변수를 정확하게 추적 할 수 있습니다.
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