판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9028211

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SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
판매
ID: 9028211
Vertical furnace, HTO.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000은 반도체 제조에 사용하기 위해 개발 된 확산 로와 액세서리입니다. 다양한 재료를 처리 할 수있는 다중 구역, 고성능 용광로입니다. 금속 물개가있는 석영 유리로 만든 고압 풍선 유형의 디자인이 특징입니다. 고급 온도 조절을 통해 SVG VTR 7000은 모든 난방 영역의 온도를 정확하게 조절하고 모니터링하여 반복 가능하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 확산 로에는 조정 가능한 압력 조절기 (pressure regulator) 가 있으며, 이를 통해 각 처리 실 내에서 압력을 정확하게 제어 할 수 있습니다. AVIZA VTR 7000 은 몇 가지 기능을 갖추고 있어 확산 처리 시 최고의 품질과 안전성을 보장합니다. 첫째, 전기적 (electrical) 구성 요소와 광학적 (optical) 구성 요소를 모두 갖춘 다양한 온도 센서가 포함되어 있습니다. 이를 통해 각 챔버의 정밀한 온도 모니터링 및 제어를 통해 안정적인 처리량을 보장할 수 있습니다. 이 퍼니스는 공랭식 가스 감속기를 갖춘 자동 가스 처리 장비 (gas handling equips) 를 통해 공정 가스를 제어, 모니터링 및 조정합니다. 이는 최고 품질의 확산 결과를 보장합니다. 또한, 용광로 (furnace) 는 고급 과압 보호 시스템을 갖추고 있으며, 이 시스템은 압력이나 온도 임계값을 초과해야 합니다. VTR 7000은 또한 직관적인 사용자 인터페이스를 갖춘 강력한 가스 흐름 제어 머신을 갖추고 있습니다. 이를 통해 각 존 (Zone) 에서 정확한 가스 흐름 제어 및 모니터링을 통해 최적의 확산 결과를 얻을 수 있습니다. 최적의 성능을 위해, 퍼니스는 다양한 액세서리 (accessory) 와 결합될 수 있으며, 전문 처리 기능을 제공합니다. 여기에는 고온 고속 스캔 메커니즘, 조절 가능한 쉴드 프레임, 섬세한 웨이퍼를위한 특수 베이킹 설비 및 프로그래밍 가능한 자동 가스 흐름 제어가 포함됩니다. 결론적으로 THERMCO VTR 7000은 반도체 제작을 위해 설계된 강력한 확산 용광로 및 액세서리 도구입니다. 고급 온도 조절, 가스 흐름 제어, 압력 제어, 안전 기능을 갖춘 이 자산은 안정적이고 반복 가능한 확산 결과를 제공합니다. 광범위한 액세서리 (accessory) 를 통해 다양한 제작 프로세스에 적합합니다. 전반적으로 SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 은 일관성 있고 고품질 결과를 원하는 Fabricator 를 위한 완벽한 고성능 확산 모델을 제공합니다.
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