판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA RVP 300 #9097671

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SVG / THERMCO / AVIZA RVP 300
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ID: 9097671
Vertical diffusion furnace.
SVG/THERMCO/AVIZA RVP 300은 반도체 제작 작업에 사용하도록 설계된 고성능 확산 로입니다. 용광로는 태양 광 장치 생산에서 SIP 처리에 이르기까지 다양한 응용 분야에 사용됩니다. SVG RVP 300은 제어 대기에서 최대 1050 ° C 온도에 도달 할 수 있으며, 이를 통해 다양한 프로세스가 효율적인 방식으로 수행 될 수 있습니다. AVIZA RVP 300은 응용 분야에 따라 석영 또는 알루미나 원통형 튜브를 특징으로합니다. 튜브는 작동 중에 확장 된 긴 반지름과 함께 제공됩니다. "튜브 '의 내부 구조 는 열손실 을 방지 하는" 알루미나' 절연층 으로 보호 된다. 이는 확산 및 SIP 프로세스와 같은 고온 응용 프로그램에 필수적입니다. "튜브 '와 절연체 에 사용 되는 재료 는 최대 의 열 유지 및 균일 한 난방 을 가능 케 한다. 로드 존에는 3 개의 고체 전기 가열 요소와 낮은 열 질량 절연 (low thermal mass insulation) 이 장착되어 균일 한 온도를 보장하고 열 손실을 최소화합니다. 하중은 수직 방향에서 적재 된 동축 튜브에 의해 촉진되며, 최대 8 pc를 처리 할 수있다. 석영 튜브는 난방 구역 (heating zone) 에 위치하고 있으며, 지지대를 갖추고 O- 링으로 고정되어 있습니다. THERMCO RVP 300의 특수 가스 분사 장비 (special gas injection equipment) 는 균일 한 가스와 고체의 균일 한 분산 로딩을 보장하며 입자 영향을 피하고 공정 결과의 균일성을 보장합니다. 이 시스템은 반응성 가스 또는 비활성 가스, 다중 압력 조절 및 제어 밸브, 질량 흐름 컨트롤러와 함께 사용하기 위해 2 개의 가스 입구로 구성됩니다. 이 용광로 에는 정확 한 온도 조절 장치 (temperate control unit) 가 있는데, 이 장치 를 통해 정확 하고 정확 하게 온도 를 조절 할 수 있습니다. 고성능 PID 컨트롤러에는 수동 오버 라이드 (over-ride) 뿐만 아니라 자동 방열과 냉각 모드 (cool down mode) 가 장착되어 있습니다. LCD 디스플레이 및 키보드 인터페이스를 사용하면 전체 프로세스를 쉽게 설치, 모니터링, 제어할 수 있습니다. 로딩 스테이션에서 퍼니스로 제품 전송은 피더 (feeder), 언로더 (unloader) 메커니즘 (mechanism) 및 여러 센서가 장착된 전송 및 버퍼링 머신 (transport and buffering machine) 에 의해 보장됩니다. 이 도구는 진공 튜브의 원활한 제품 운송 및 균일 한 로딩을 제공합니다. 전반적으로, RVP 300 확산 로와 액세서리는 다양한 산업 공정을 위해 설계된, 신뢰할 수 있는, 고성능 도구입니다. "가스 '분사 의 효율적 인 자산 과 결합 된 정확 한 온도 조절 은 결과 의 균일성 을 보장 해 주며, 낭비 를 감소 시켜 생산 의 효율성 을 증가 시킨다.
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