판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA RVP 300 #9097644

SVG/THERMCO/AVIZA RVP 300 확산 광로 및 액세서리는 다양한 프로세스에 대한 산업 강도 열 솔루션을 제공합니다. 이 장비는 용광로, 여분의 가스 원, 세라믹 격리 원 및 고급 온도 조절로 구성됩니다. 이 최첨단 확산 시스템은 야금, 반도체, 광전자 산업에서 다양한 응용 분야를위한 우수한 플랫폼을 제공합니다. SVG RVP 300 퍼니스에는 고성능 쿼츠 튜브가 장착되어 있습니다. 이 석영 튜브는 섭씨 1200 ° 의 온도까지 가열 될 수 있으며, 이는 수많은 생산 프로세스에 적합합니다. 슬라이딩 도어 (sliding door) 를 통해 액세스 할 수있는 독특한 세라믹 챔버 (ceramic chamber) 는 효율적인 열 전달을 보장하며 안정적이고 일관된 결과를 제공합니다. 고급 온도 제어는 열 처리 환경을 정확하게 조절하고 모니터링합니다. 온도 조절은 섭씨 30 ~ 1200 ° 의 온도를 제공하며, 섭씨 1 ° 의 정확도를 갖습니다. 용광로 외에도 AVIZA RVP 300 장치에는 통합 가스 박스 (gas box) 를 통해 연결된 몇 가지 강력한 가스 소스 호가 포함되어 있습니다. 이 "가스 '상자 는 질소, 수소," 아르곤' 등 여러 가지 "가스 '원 을 선택 한다. 이 소스는 실리콘 웨이퍼에 재료를 확산 할 수 있습니다. 기계 내에 포함 된 세라믹 격리 원 (ceramic isolation source) 은 재료의 정확한 등방성 확산을 허용한다. 이는 단일 웨이퍼 (wafer) 내에서 여러 레이어를 통합할 수 있기 때문에 가장 중요합니다. RVP 300 도구는 안정성이 높고 효율적인 고급 산업용 열 플랫폼입니다. 다양한 온도와 정확도 올인원 패키지를 제공합니다. 그것 은 여러 가지 고급 "가스 '원 과" 세라믹' 격리 원 으로 이루어져 있으며, 여러 가지 생산 공정 을 제공 한다. 업계 최고의 열 프로세스를 위해 THERMCO RVP 300은 우수한 솔루션을 제공합니다.