판매용 중고 MRL Cyclone #9029384

MRL 사이클론 (MRL Cyclone) 은 매우 높은 온도와 극심한 진공에서 기판에 균일 한 박막 층을 만들기 위해 사용되는 전문 확산 로입니다. 용광로 는 회전 하는 "실린더 '에 의해 생성 된" 사이클론' 공기 흐름 을 이용 하여 뜨거운 "가스 '를 기판 으로 유도 한다. 이 사이클론 (Cyclone) 장비는 보다 효과적인 난방, 냉각 및 확산을 제공하여 사용자가 선택한 재료에 uiform, 균질 한 레이어를 생성 할 수 있습니다. MRL 사이클론 (MRL Cyclone) 에는 안전하고 정확하며 효율적인 작동을 위해 여러 가지 기능과 구성 요소가 장착되어 있습니다. 외부에서, 퍼니스에는 다양한 어플리케이션에 적응하기 위해 필요한 모든 컨트롤이 포함된 인체 공학적, 사용자 친화적 (user-friendly) 제어판이 장착되어 있습니다. 내부적으로, 용광로에는 고온 보호 장치 (High Temperature Protection Mechanism) 가 장착되어 있는데, 이는 과열 이벤트가 발생할 경우 작업을 자동으로 종료합니다. 사이클론은 원통형 내부 구성 요소를 포함하는 원통형 챔버로 구성됩니다. 이 챔버는 알루미나 (alumina) 와 실리콘 카바이드 쉘 (silicon carbide shell) 에 의해 절연되어 있으며, 이는 사용자가 작동 온도를 최대 2000 ° C까지 달성하는 데 도움이됩니다. 챔버 내부에는 사이클론 공기 흐름을 만들기 위해 회전하는 실린더가 있습니다. 이 "시스템 '에는 공기" 인렛' 과 "콘센트 '와 방내 의 압력 을 유지 하기 위한 배기 가스 콘센트' 가 갖추어져 있다. MRL 사이클론 (MRL Cyclone) 은 또한 고성능 난방 장치를 갖추고 있으며, 이는 확산 프로세스에 필요한 극히 높은 온도를 얻기 위해 필요합니다. 이 가열기는 회전 실린더를 둘러싼 10 개의 고출력 히터 요소로 구성됩니다. 가열 요소는 전력 조절기 (power regulator) 와 열전대 (thermocouple) 에 연결되어 정확한 제어 및 모니터링을 보장합니다. 챔버 내부에는 광학 석영 기판 홀더 (optical quartz substrate holder) 와 기판 홀더가 장착되어 있습니다. 이 홀더 (holder) 는 기판이 확산 과정에 필요한 온도에 유지되는 동안 챔버 (chamber) 의 극한 온도로부터 보호하도록 보장한다. 또한 용광로 에는 공정 을 최적화 하기 위하여 어떤 방향 으로든 방향 을 돌릴 수 있는 "기판 '의 회전" 홀더' 가 장착 되어 있다. 마지막으로, 사이클론 (Cyclone) 에는 원하는 압력 및 온도에서 챔버를 유지하는 데 필요한 여러 구성 요소가 장착되어 있습니다. 여기에는 압력 컨트롤러, 가스 매니 폴드, 조정 가능한 밸브, 챔버 내부의 온도, 흐름, 압력을 조절하는 추가 구성 요소가 포함됩니다. MRL 사이클론 (MRL Cyclone) 은 안정적이고 효율적이며 안전한 확산 로를 찾는 모든 사용자에게 완벽한 도구입니다. 세련된 디자인, 강력한 구성요소 (Component Component) 는 탁월한 정밀도, 성능을 제공하여 사용자가 원하는 재질에 균일한 균일 한 균일 한 레이어를 손쉽게 생산할 수 있게 해 줍니다.