익숙한 KOKUSAI VERTRON III 판매용

ID#: 135994 제조사: KOKUSAI 모델: VERTRON III 범주: DIFFUSION FURNACES & ACCESSORIES 포도 수확: 1999 웨이퍼 크기: 8" 장비 세부 정보: Vertical diffusion furnace / LPCVD / Poly CVD furnace, 8" Process applications: Dry-Ox, Wet-Ox, NO(N2O)-Anneal, Well Diffusion, N2(Ar, H2)-Anneal, PH3-Anneal, Doped/Undoped-Poly-Si, Doped/Undoped-SiGe-Poly, Si3N4, TEOS, HTO Accommodates: 5 wafers simultaneously Automatic filler dummy wafer supply by wafer detection mechanism SEMI standard compliant I/O stage Supports SMIF interface GUI tube controller (CX3000 series) SECS / GEM compatibility 1999 vintage.
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