판매용 중고 KOKUSAI DJ-853V #9040271

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KOKUSAI DJ-853V
판매
ID: 9040271
웨이퍼 크기: 8"
LPCVD System, 8" 850º Controller type: CX3000 Software: 03.44.00 AVG configured OS: Japanese A150W-T Vacuum pump Loading system Furnace system Gas control system Pressure control system Burning system Pump status Manual.
KOKUSAI DJ-853V 확산 퍼니스는 반도체 처리를 위해 특별히 설계된 컴퓨터 제어 고온 퍼니스입니다. 연구 및 개발뿐만 아니라 가벼운 생산에도 적합합니다. 우수한 온도 균일성을 제공하며 최대 1100 ° C의 열 과정을 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 주 챔버에 2 개의 계층이 있으며, 챔버 크기는 257x203x203mm, 최대 부하 용량은 60kg.it는 2 개의 섹션으로 분리되어 있습니다. 하단 계층은 실제 웨이퍼 홀더를 수용하고, 상단 계층은 최대 3 개의 롤을 수용 할 수 있습니다. 웨이퍼. 웨이퍼 홀더는 고순도 석영 튜브로 만들어지며 고르게 분산 된 가열을위한 실리콘-카바이드 (SAIKO) 감수기를 갖습니다. 중앙 가열 요소는 6KW로 평가되며 최대 전력은 12kW입니다. KOKUSAI DJ 853V는 또한 안심을위한 몇 가지 안전 기능을 제공합니다. 용광로 문 은 두꺼운 "세라믹 '재질 로 만들어져 있으며, 열 을 격리 시키고 용광로 는" 터치' 를 차게 한다. 여러 개의 물개와 안전 밸브가 장착되어 있으며, 불꽃과 가스 누출이 줄어 듭니다. 마지막으로, 퍼니스에는 쉬운 운영 및 유지 관리를 위해 액세서리 스위트가 제공됩니다. 여기에는 2 개의 쿼츠 튜브와 2 개의 웨이퍼 홀더, 챔버 내 온도를 측정하기위한 피로미터, 가스 조절기 및 과열 예방을위한 핫 존 냉각 팬 (Hot Zone Cooling Fan) 이 포함됩니다. 또한 "컴퓨터 '나 다른 외부 장치 에 연결 하기 위한 풍부 한 외부" 터미널' 배선 이 있다. 요약하면, DJ-853V 확산 퍼니스는 반도체 연구 및 생산에 이상적입니다. 그것은 큰 챔버 크기와 고온 균일성을 제공합니다. 또한 다양한 안전 (Safety) 기능과 편리한 외부 배선 및 광범위한 액세서리 패키지를 갖추고 있습니다. 뛰어난 성능, 다양한 기능을 갖춘 이 장치는 실험실, 산업용 어플리케이션 모두에 적합합니다.
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