판매용 중고 KOKUSAI DJ-835V-8BL #9095897

KOKUSAI DJ-835V-8BL은 반도체 재료의 정밀 어닐링 및 도핑을 제공하기 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 반도체의 온도 구배 및 정밀 어닐링에 최적화되는 다양한 특징과 에피 택시 증착 (epitaxial deposition), 합금 (alloying) 및 기질 금속화와 같은 도핑 공정이 있습니다. DJ-835V-8BL 확산 로에는 단일 실린더 분할 튜브 로가 장착되어 있습니다. 튜브의 상단 및 하단 부분은 별도의 처리 실행에 사용할 수 있습니다. 이 "튜브 '에는 열 절연 을 위한 이중 벽 이 있으며, 내부 에는 정밀 한 온도 조절 을 위한" 몰리브덴 히터' 와 열전대 가 있다. "가스 '확산 에 의하여" 튜브' 의 상부 부분 이 밀봉 되고, 재료 의 접근 및 조작 을 위하여 하단 부분 이 열려 있다. KOKUSAI DJ-835V-8BL 확산 로는 반도체 재료를 훨씬 더 쉽고 안정적으로 처리하도록 설계된 다양한 액세서리를 갖추고 있습니다. "튜브 '내부 에는 필요 한 정확 한 위치 에 기판" 웨이퍼' 를 장착 하고 위치 를 정하기 위한 "세라믹 '실 이 있다. 진공 밀봉업자 는 오염 으로부터 "튜브 '를 안전 하게 밀봉 하기 위해서도 포함 된다. 각 장비는 또한 순수한 아르곤 및 질소 대기를 공급하기위한 비활성 가스 분사 시스템 (inert gas-injection system) 을 갖추고 있으며, 압력 프로파일 컨트롤러 (pressure profile controller) 는 최적의 처리 조건을 위해 대기를 정확하게 제어합니다. DJ-835V-8BL 확산 로는 다양한 온도 및 압력 설정을 제공합니다. 기판 온도는 온도 프로필 컨트롤러를 사용하여 500 ° C ~ 1000 ° C로 설정할 수 있으며, 정확한 제어를 위해 0.1 ° C 증가로 온도를 늘리거나 줄일 수 있습니다. 이 장치의 압력 제어 (Pressure Control) 는 0.1 ~ 5.5 기압의 다양한 가스 압력 설정으로 사용할 수 있으며, 압력 프로파일 컨트롤러 (Pressure Profile Controller) 는 최적의 범위에서 온도와 압력을 쉽게 유지할 수 있습니다. KOKUSAI DJ-835V-8BL 확산 로와 액세서리는 반도체 재료 처리에 유연성과 신뢰성을 제공합니다. 고급 기능으로 정밀 어닐링, 도핑 프로세스, 재료 합금에 이상적입니다. 전문 반도체 회사 (semiconductor company) 이든지 대학 실험실 이든지 간 에, 이 기계 는 고도 의 정밀 한 결과 를 얻는 데 도움 이 되는 완전 한 "피처 '의 조합 을 제공 한다.